Journal of Microelectromechanical Systems

SCIE-ISI SCOPUS (1992-2023)

  1057-7157

  1941-0158

  Mỹ

Cơ quản chủ quản:  Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. , IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC

Lĩnh vực:
Mechanical EngineeringElectrical and Electronic Engineering

Các bài báo tiêu biểu

What is the Young's Modulus of Silicon?
Tập 19 Số 2 - Trang 229-238 - 2010
Matthew A. Hopcroft, William D. Nix, Thomas W. Kenny
Creating, transporting, cutting, and merging liquid droplets by electrowetting-based actuation for digital microfluidic circuits
Tập 12 Số 1 - Trang 70-80 - 2003
Sung Kwon Cho, Hyejin Moon, Chang‐Jin Kim
Etch rates for micromachining processing-part II
Tập 12 Số 6 - Trang 761-778 - 2003
K.R. Williams, Kapil Gupta, Matthew Wasilik
M-TEST: A test chip for MEMS material property measurement using electrostatically actuated test structures
Tập 6 Số 2 - Trang 107-118 - 1997
P.M. Osterberg, S.D. Senturia
Quality factors in micron- and submicron-thick cantilevers
Tập 9 Số 1 - Trang 117-125 - 2000
Kevin Yasumura, T. D. Stowe, Eugene M. Chow, T. Pfafman, Thomas W. Kenny, B. C. Stipe, D. Rugar
Equilibrium swelling and kinetics of pH-responsive hydrogels: models, experiments, and simulations
Tập 11 Số 5 - Trang 544-555 - 2002
Sudipto K. De, N. R. Aluru, Brian P. Johnson, Wendy C. Crone, David J. Beebe, Jeffrey S. Moore
A new technique for measuring the mechanical properties of thin films
Tập 6 Số 3 - Trang 193-199 - 1997
W. N. Sharpe, Biao Yuan, R. L. Edwards
Thin-film shape-memory alloy actuated micropumps
Tập 7 Số 2 - Trang 245-251 - 1998
William L. Benard, H. Kahn, A. H. Heuer, Michael Huff
New thermoelectric components using microsystem technologies
Tập 13 Số 3 - Trang 414-420 - 2004
H. Böttner, J. Nurnus, Alexander Gavrikov, Gerd Kühner, Martin Jägle, C. Kunzel, D. Eberhard, G. Plescher, Axel Schubert, K.-H. Schlereth
VHF free-free beam high-Q micromechanical resonators
Tập 9 Số 3 - Trang 347-360 - 2000
Kun Wang, Ark-Chew Wong, Clark T.‐C. Nguyen