A. O. Ageev, B. G. Konoplev, V. V. Polyakov, A. M. Svetlichnyi, V. A. Smirnov
Một nghiên cứu thực nghiệm được báo cáo về ảnh hưởng của bức xạ UV hoặc IR không
đồng nhất lên quá trình nano lithography bằng phương pháp oxy hóa anod địa
phương do đầu kim gây ra, áp dụng cho các màng titan. Cả hai hình thức bức xạ
đều được phát hiện là làm tăng độ đồng nhất của kích thước các đặc trưng và cải
thiện độ phân giải của kỹ thuật lithography. Nghiên cứu cũng chỉ ra rằng bức xạ
UV cho... hiện toàn bộ