Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
1071-1023
Cơ quản chủ quản: N/A
Lĩnh vực:
Các bài báo tiêu biểu
GaN, AlN và InN: Một bài tổng quan Dịch bởi AI Trạng thái nghiên cứu về cả wurtzite và zinc-blende của GaN, AlN, InN và các hợp kim của chúng được tổng hợp, bao gồm các kết quả gần đây đầy hứng khởi. Một sự chú ý được dành cho các kỹ thuật tinh thể phát triển, tính chất cấu trúc, quang học và điện học của GaN, AlN, InN và các hợp kim của chúng. Các kết quả lý thuyết khác nhau của mỗi vật liệu được tóm tắt. Chúng tôi cũng mô tả hiệu suấ... ... hiện toàn bộ
Tập 10 Số 4 - Trang 1237-1266 - 1992
Công nghệ in dấu dưới 10 nm và các ứng dụng Dịch bởi AI Các phát triển mới, chi tiết bổ sung và ứng dụng của công nghệ in dấu được trình bày. Các lỗ có đường kính 10 nm và chu kỳ 40 nm đã được in không chỉ trên polymethylmethacrylate (PMMA) trên silicon, mà còn trên các bề mặt vàng. Đường kính lỗ nhỏ nhất được in trên PMMA là 6 nm. Tất cả các mẫu PMMA đã được chuyển đổi thành kim loại bằng quy trình liftoff. Thêm vào đó, các mesa PMMA có kích t... ... hiện toàn bộ
Tập 15 Số 6 - Trang 2897-2904 - 1997
#imprint lithography #polymethylmethacrylate #silicon quantum dot #nanocompact disks #scanning probe
Xử lý và chế tạo bằng chùm electron và chùm ion hỗ trợ khí Dịch bởi AI Chùm electron và ion hiện nay thường được tập trung đến kích thước trong phạm vi nanomet. Vì các chùm này có thể được sử dụng để thay đổi vật liệu tại điểm tác động trên bề mặt, chúng đại diện cho các công cụ chế tạo nano trực tiếp. Các tác giả sẽ tập trung vào chế tạo trực tiếp thay vì lithography, là phương pháp gián tiếp sử dụng trung gian là vật liệu nhạy sáng. Trong trường hợp cả ion ... ... hiện toàn bộ
Tập 26 Số 4 - Trang 1197-1276 - 2008
Những tiến bộ gần đây trong quá trình chế tạo ZnO Dịch bởi AI Trong bài viết này, chúng tôi trình bày một cái nhìn tổng quan về những kết quả gần đây trong việc phát triển các quy trình chế tạo cải tiến cho các thiết bị ZnO với các ứng dụng tiềm năng trong phát quang tia UV, thiết bị chức năng spin, cảm biến khí, điện tử trong suốt, và các thiết bị sóng âm bề mặt. Ngoài ra, còn có sự quan tâm đến việc tích hợp ZnO với các bán dẫn có khoảng băng rộng ... ... hiện toàn bộ
Tập 22 Số 3 - Trang 932-948 - 2004
Xác định phân bố kích thước lỗ trong các màng mỏng bằng phương pháp porosimetry ellipsometric Dịch bởi AI Chúng tôi cho thấy rằng phương pháp porosimetry ellipsometric có thể được sử dụng để đo lường phân bố kích thước lỗ trong các màng xốp mỏng được chế tạo trên bất kỳ nền tảng rắn mịn nào. Trong phương pháp này, kỹ thuật ellipsometry tại chỗ được sử dụng để xác định lượng chất hấp phụ, đã được hấp thụ/ngưng tụ trong màng. Sự thay đổi ở chỉ số khúc xạ và độ dày của màng được sử dụng để tính t... ... hiện toàn bộ
Tập 18 Số 3 - Trang 1385-1391 - 2000
Bong khí nanomet trên bề mặt rắn được chụp ảnh bằng kính hiển vi lực nguyên tử Dịch bởi AI Bong khí có kích thước nanomet đã được tạo ra trên bề mặt rắn phẳng ở mức nguyên tử và được chụp ảnh bằng kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) ở chế độ gõ trong nước. Trong các hình ảnh AFM, bong khí xuất hiện như những hình cầu sáng. Một số bong khí giữ sự ổn định trong nhiều giờ trong quá trình thí nghiệm. Các bong khí bị nhiễu loạn dưới tải trọng cao trong quá trình chụp ảnh AFM. Một cơ chế... ... hiện toàn bộ
Tập 18 Số 5 - Trang 2573-2575 - 2000
Phát hiện tế bào đơn lẻ bằng bộ dao động vi cơ học Dịch bởi AI Khả năng phát hiện một lượng nhỏ các chất liệu, đặc biệt là vi khuẩn gây bệnh, rất quan trọng trong chẩn đoán y tế và theo dõi an toàn thực phẩm. Các hệ thống cơ học vi và nano được thiết kế có thể đóng vai trò như những máy phát hiện sinh học đa chức năng, nhạy cảm cao và đặc hiệu miễn dịch. Chúng tôi trình bày một cảm biến khối lượng dựa trên tần số cộng hưởng, được cấu thành từ các than... ... hiện toàn bộ
Tập 19 Số 6 - Trang 2825-2828 - 2001
#phát hiện tế bào đơn lẻ #cảm biến khối lượng #E. coli #vi khuẩn gây bệnh #dao động vi cơ học
Các khía cạnh khoa học bề mặt của vi điện tử chân không Dịch bởi AI Vi điện tử chân không (VME) liên quan đến thiết kế và chế tạo các thiết bị và linh kiện chân không được cấu tạo với kích thước và độ chính xác tương tự như các thiết bị vi điện tử bán dẫn. Công nghệ này rất phù hợp cho việc sử dụng trong các thiết bị điện tử có ý nghĩa thương mại, đặc biệt là màn hình phẳng. Ngành công nghiệp màn hình phẳng dự kiến sẽ đạt doanh thu hàng năm tính bằng hàng ... ... hiện toàn bộ
Tập 13 Số 4 - Trang 1391-1410 - 1995
#vi điện tử chân không #khoa học bề mặt #catốt lạnh #phát xạ điện trường #màn hình phẳng
Nanoimprinting trên bề mặt địa hình và in 3D nhiều lớp Dịch bởi AI Chúng tôi đã phát triển một kỹ thuật in dấu đơn giản cho phép tạo hình trên một bề mặt không phẳng mà không cần phải làm phẳng. Trong quá trình này, một lớp phim polymer được phủ bằng cách quay (spin coating) lên khuôn và sau đó được chuyển giao đến một bề mặt đã được định hình thông qua phương pháp in dấu. Bằng cách lựa chọn các loại polymer với các tính chất cơ học khác nhau, chúng tôi c... ... hiện toàn bộ
Tập 20 Số 6 - Trang 2881-2886 - 2002
Đặc trưng của các hạt lượng tử InAs trong giếng lượng tử InxGa1−xAs bị căng Dịch bởi AI Các thuộc tính của hạt lượng tử InAs được đặt trong giếng lượng tử InGaAs căng được nghiên cứu. Cấu trúc này được lớn lên bằng phương pháp phân tử beam xạ nguồn rắn trên nền GaAs và được đặc trưng bằng quang phát quang và kính hiển vi lực nguyên tử. Bước sóng phát ra và chất lượng quang học của các hạt lượng tử thay đổi theo nhiệt độ lớn lên và cũng phụ thuộc vào vị trí của các hạt trong g... ... hiện toàn bộ
Tập 18 Số 3 - Trang 1496-1501 - 2000