Xác định phân bố kích thước lỗ trong các màng mỏng bằng phương pháp porosimetry ellipsometric

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena - Tập 18 Số 3 - Trang 1385-1391 - 2000
Mikhaı̈l R. Baklanov1, K. P. Mogilnikov2, V. G. Polovinkin2, F. N. Dultsev2
1IMEC, B-3001 Leuven, Belgium
2Institute of Semiconductor Physics SB RAS, 630090 Novosibirsk, Russia

Tóm tắt

Chúng tôi cho thấy rằng phương pháp porosimetry ellipsometric có thể được sử dụng để đo lường phân bố kích thước lỗ trong các màng xốp mỏng được chế tạo trên bất kỳ nền tảng rắn mịn nào. Trong phương pháp này, kỹ thuật ellipsometry tại chỗ được sử dụng để xác định lượng chất hấp phụ, đã được hấp thụ/ngưng tụ trong màng. Sự thay đổi ở chỉ số khúc xạ và độ dày của màng được sử dụng để tính toán số lượng chất hấp phụ có mặt trong màng. Kỹ thuật porosimetry ở nhiệt độ phòng dựa trên sự hấp phụ hơi của dung môi hữu cơ đã được phát triển. Trong bài báo này, một phương pháp tính toán phân bố kích thước lỗ và kết quả đo đạt trên các màng xerogel xốp trung và xốp vi được thảo luận. Việc kiểm tra tính hợp lệ của quy tắc Gurvitsch cho các chất hấp phụ hữu cơ khác nhau (toluene, heptane và carbon tetrachloride) được thực hiện để đánh giá độ tin cậy của các phép đo phân bố kích thước lỗ bằng phương pháp porosimetry ellipsometric.

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

1988, Poverkhnost, 11, 1445

1989, Thin Solid Films, 171, 43, 10.1016/0040-6090(89)90032-1

1999, MRS Bull., 24, 36

1999, Electrochem. Solid State Lett., 2, 192, 10.1149/1.1390780

1993, Sov. J. Opt. Technol., 60, 92

1985, Pure Appl. Chem., 57, 603, 10.1351/pac198557040603

1952, Can. J. Chem., 30, 1012, 10.1139/v52-121

1954, Proc. R. Soc. London, Ser. A, 224, 526, 10.1098/rspa.1954.0177

1915, J. Phys. Chem. Russ., 47, 805

Thông tin
Thông tin xuất bản

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena

Tập 18 Số 3

1385-1391

Thông tin tác giả