IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
SCOPUS (1988-2023)SCIE-ISI
0894-6507
1558-2345
Mỹ
Cơ quản chủ quản: IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC , Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
Lĩnh vực:
Electronic, Optical and Magnetic MaterialsElectrical and Electronic EngineeringIndustrial and Manufacturing EngineeringCondensed Matter Physics
Phân tích ảnh hưởng
Các bài báo tiêu biểu
Efficient scheduling policies to reduce mean and variance of cycle-time in semiconductor manufacturing plants
Tập 7 Số 3 - Trang 374-388 - 1994
Modeling, analysis, simulation, scheduling, and control of semiconductor manufacturing systems: A Petri net approach
Tập 11 Số 3 - Trang 333-357 - 1998
Minimum inventory variability schedule with applications in semiconductor fabrication
Tập 9 Số 1 - Trang 145-149 - 1996
Due-date based scheduling and control policies in a multiproduct semiconductor wafer fabrication facility
Tập 11 Số 1 - Trang 155-164 - 1998
An improved methodology for real-time production decisions at batch-process work stations
Tập 6 Số 3 - Trang 219-225 - 1993
Neural network modeling of reactive ion etching using optical emission spectroscopy data
Tập 16 Số 4 - Trang 598-608 - 2003
Cu Planarization for ULSI Processing by Electrochemical Methods: A Review
Tập 18 Số 3 - Trang 341-349 - 2005
Modeling and simulation of an electronic component manufacturing system using hybrid Petri nets
Tập 11 Số 3 - Trang 374-383 - 1998