American Vacuum Society
0022-5355
Cơ quản chủ quản: N/A
Lĩnh vực:
Các bài báo tiêu biểu
Ảnh hưởng của hình học thiết bị và điều kiện lắng đọng đối với cấu trúc và bề mặt của lớp phủ dày được phun bắn Dịch bởi AI Hai hình thức hình học lắng đọng phun bắn đối xứng trụ và bổ sung, gồm có cực dương và cực rỗng, đã được sử dụng để lắng đọng các lớp phủ dày (∼25-μ) của nhiều loại kim loại (Mo, Cr, Ti, Fe, Cu và hợp kim Al) lên các nền thủy tinh và kim loại với tốc độ lắng đọng từ 1000–2000 Å/phút dưới các điều kiện khác nhau về nhiệt độ nền, áp suất argon và bùng nổ plas. Đặc điểm bề mặt lớp phủ và mặt ... ... hiện toàn bộ
Tập 11 Số 4 - Trang 666-670 - 1974
Mô hình mới và thống nhất cho sự hình thành rào cản Schottky và trạng thái giao diện cách điện III-V Dịch bởi AI Đối với các hợp chất III-V được dop n- và p-, việc cố định mức Fermi và các hiện tượng kèm theo của bề mặt tách (110) đã được nghiên cứu kỹ lưỡng bằng cách sử dụng quang phát xạ ở hν≲300 eV (để các mức năng lượng lõi cũng như mức năng lượng hóa trị có thể được nghiên cứu). Cả bề mặt sạch và những thay đổi do kim loại hoặc oxy được thêm vào những bề mặt đó ở lượng dưới một lớp mono đều đã đ... ... hiện toàn bộ
Tập 16 Số 5 - Trang 1422-1433 - 1979
Mô hình khuyết tật hợp nhất và những vấn đề vượt ra ngoài Dịch bởi AI Mô hình khuyết tật hợp nhất đã thành công trong việc giải thích một loạt các hiện tượng khi oxi hoặc kim loại được thêm vào bề mặt III-V. Những hiện tượng này bao gồm một phạm vi từ một phần nhỏ của một lớp đơn phân tử của adatoms đến các cấu trúc III-V thực tiễn có các lớp phủ rất dày. Các nguyên tắc của mô hình khuyết tật hợp nhất được phác thảo, và các kết quả thực nghiệm dẫn đến việc h... ... hiện toàn bộ
Tập 17 Số 5 - Trang 1019-1027 - 1980
So sánh các tính chất của các màng dielectrics được lắng đọng bằng nhiều phương pháp khác nhau Dịch bởi AI Trong bài báo tổng quan này, các tính chất vật lý - hoá học của các màng điện môi khác nhau được sử dụng trên các thiết bị bán dẫn được so sánh theo phương pháp hình thành hoặc lắng đọng của chúng. Các lớp cách điện được thảo luận bao gồm silicon dioxide, kính phosphosilicate, silicon nitride, alumina, kính borosilicate và các loại kính silicat khác. Các kỹ thuật hình thành hoặc lắng đọng ... ... hiện toàn bộ
Tập 14 Số 5 - Trang 1064-1081 - 1977
Ảnh hưởng của nhiệt độ nền và tỷ lệ lắng đọng đối với cấu trúc của các lớp mạ đồng dày được phun bắn Dịch bởi AI Các lớp mạ đồng OFHC dày [1–10 mil (25,4–254,0 μm)] được lắng đọng trên các nền làm bằng đồng, tantali và thép không gỉ, trong khoảng nhiệt độ (T) từ 50 ° đến 950 °C, với tỷ lệ lắng đọng từ 200 đến 18 000 Å/phút, chủ yếu sử dụng các thiết bị phun bắn với catot rỗng và đôi khi là catot kiểu sau, tại áp suất argon từ 1 đến 30 mTorr. Cấu trúc của lớp mạ được khảo sát bằng cách chuẩn bị các mặ... ... hiện toàn bộ
Tập 12 Số 4 - Trang 830-835 - 1975
Hấp phụ hóa học oxy trên oxit thiếc: Mối tương quan giữa độ dẫn điện và các phép đo EPR Dịch bởi AI Hấp phụ hóa học của oxy trên oxit thiếc được nghiên cứu. Các mối tương quan giữa độ dẫn điện và các phép đo điện từ hóa học (EPR) được báo cáo.
Tập 17 Số 1 - Trang 366-369 - 1980
Chemical information from XPS—applications to the analysis of electrode surfaces
Tập 18 Số 3 - Trang 714-721 - 1981
Cấu trúc nguyên tử và điện tử cục bộ của giao diện oxide/GaAs và SiO2/Si bằng cách sử dụng XPS có độ phân giải cao Dịch bởi AI Cấu trúc hóa học của các lớp phim SiO2 mỏng, các oxit tự nhiên mỏng của GaAs (20–30 Å), và các giao diện oxit–bán dẫn tương ứng đã được điều tra bằng phương pháp quang phổ điện tử phát xạ tia X có độ phân giải cao. Các hồ sơ sâu của những cấu trúc này đã được thu được bằng cả hai kỹ thuật bắn phá ion argon và ăn mòn hóa học ướt. Sự phá hủy hóa học được gây ra bởi phương pháp định hình ion ... ... hiện toàn bộ
Tập 16 Số 5 - Trang 1443-1453 - 1979
#SiO2 #GaAs #giao diện oxit #quang phổ điện tử phát xạ tia X #cấu trúc chuyển giao điện tích
Xác định các gốc bề mặt bằng quang phổ dao động: Phản ứng của C2H2, C2H4 và H2 trên Pt (111) Dịch bởi AI Quang phổ suy giảm năng lượng điện tử độ phân giải cao đã được áp dụng để nghiên cứu sự hấp phụ của acetylene và ethylene trên bề mặt Pt (111) cũng như các phản ứng bề mặt của các chất hấp phụ này theo hàm số nhiệt độ và trong sự hiện diện của hydrogen hóa hóa học. Bằng cách sử dụng quy tắc lựa chọn bề mặt và các tần số quan sát được, một bức tranh khá chi tiết được phát triển về bản chất ... ... hiện toàn bộ
Tập 15 Số 2 - Trang 407-415 - 1978
#Quang phổ suy giảm năng lượng #hấp phụ #acetylene #ethylene #Pt (111) #hydrogen hóa #các gốc bề mặt
Các tiếp xúc ohmic hợp kim với GaAs Dịch bởi AI Các tiếp xúc hợp kim AuGe được sử dụng rộng rãi để tạo kết nối ohmic với GaAs. Người ta giả định rằng vùng hợp kim tái sinh bị pha tạp nặng để việc vận chuyển hạt mang diễn ra thông qua hiện tượng hầm. Các thuộc tính điện và kim loại học của hệ thống không đồng nhất này đã được nghiên cứu rộng rãi và cho thấy tính không đồng nhất không gian. Chi tiết về kỹ thuật chế tạo, phân tích và giải ... ... hiện toàn bộ
Tập 19 Số 3 - Trang 803-807 - 1981