Phân tích nhiệt chuyển của quá trình oxy hóa các lớp phim kim cương CVD

Journal of Materials Research - Tập 5 Số 11 - Trang 2320-2325 - 1990
Curtis E. Johnson1, M. Hasting1, Wayne A. Weimer1
1Chemistry Division, Research Department, Naval Weapons Center, China Lake, USA

Tóm tắt

Các lớp phim kim cương được sinh trưởng bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD) hỗ trợ bởi plasma vi sóng đã được nghiên cứu qua phân tích nhiệt trọng lượng trong bầu không khí không khí. Tốc độ oxy hóa được đo trong khoảng từ 600 đến 750 °C để xác định năng lượng kích hoạt là 213 kJ/mol, con số này tương tự như giá trị được báo cáo đối với kim cương tự nhiên. Tốc độ oxy hóa tăng lên khi diện tích bề mặt tăng, và giảm khi độ ẩm tăng. Quá trình oxy hóa diễn ra bằng cách khắc các hố vào lớp phim, tạo ra một cấu trúc rỗng cao. Không phát hiện được hiện tượng đồ họa trong các mẫu bị oxy hóa một phần bằng phương pháp quang phổ Raman hoặc quang phổ electron Auger. Một lớp phim được gia nhiệt đến 1170 °C trong môi trường nitơ vẫn duy trì khả năng truyền ánh sáng hồng ngoại.

Từ khóa

#phim kim cương #lắng đọng hơi hóa học #phân tích nhiệt trọng lượng #oxy hóa #plasma vi sóng

Tài liệu tham khảo

10.1016/0025-5408(89)90070-6

Johnson, 1989, Technology Update on Diamond Films

10.1126/science.241.4868.913

10.1116/1.577028

10.1116/1.575938

10.1016/0040-6090(84)90441-3

10.1016/0039-6028(77)90460-5

10.1007/BF00725813

Plano, 1989, Proc. 1st Int. Symp. on Diamond and Diamond-like Films, 380

10.1103/PhysRevB.38.4067

10.1557/JMR.1989.0385

10.1116/1.575297

10.1103/PhysRevB.1.1687

Johnson, 1989, Proc. SPIE, 1146, 188, 10.1117/12.962076

10.1063/1.339912

10.1146/annurev.ms.17.080187.001113

Thông tin
Thông tin xuất bản

Journal of Materials Research

Tập 5 Số 11

2320-2325

Thông tin tác giả