Vai trò của nhiệt độ nền đối với cơ chế phát triển và tính chất vật lý của màng mỏng oxit chì được phun phủ

Màng mỏng oxit chì được tổng hợp bằng kỹ thuật phun nhiệt giá rẻ ở các nhiệt độ nền khác nhau trên nền kính. Ảnh hưởng của nhiệt độ nền đến cơ chế phát triển và các tính chất vật lý của các màng mỏng đã được nghiên cứu. Tất cả các màng mỏng đều có tính chất đa tinh thể với cấu trúc tứ diện tương ứng với α-PbO. Các màng mỏng phủ ở 225 °C và 275 °C có định hướng (1 0 1), trong khi các màng được lắng đọng ở 325 °C và 375 °C có định hướng (0 0 2). Trên 375 °C, tính chất tứ diện nguyên chất suy giảm và các đỉnh tương ứng với pha orthorhombic được quan sát thấy. Giá trị khoảng cách băng được tìm thấy trong khoảng từ 2.3 đến 2.62 eV. Tất cả các màng có điện trở suất vào khoảng 10^3 ohm-cm. Một điện trở suất tối thiểu là 0.0191 × 10^3 ohm-cm được thu được cho màng phủ ở 325 °C. Năng lượng kích hoạt tăng lên khi nhiệt độ nền tăng.