Các Phép Đo Sóng Phát và Giám Sát Các Tham Số Của Quy Trình Công Nghiệp Với Các Phần Tử Nhạy Sử Dụng Hệ Thống Sóng Chậm

Measurement Techniques - Tập 44 - Trang 18-25 - 2001
A. A. Elizarov

Tóm tắt

Bài báo trình bày tổng quan về tình trạng hiện tại của các phương pháp đo sóng radio và thiết kế các bộ chuyển đổi đo lường với các phần tử nhạy cảm sử dụng hệ thống sóng chậm để giám sát các tham số của quy trình công nghiệp.

Từ khóa

#đo sóng radio #giám sát công nghiệp #hệ thống sóng chậm #thiết bị đo lường

Tài liệu tham khảo

V. A. Kuznetsov (ed.), Modular-Instrument Universal Automated Measurement Systems: A Handbook [in Russian], Radio i Svyaz', Moscow (1993). E. I. Shekhmeister, Manufacturing Technology of Vacuum- Electronic Devices [in Russian], Vysshaya Shkola, Moscow (1992). A. A. Elizarov, Physics of Wave Processes and Radio-Engineering Systems, 1, No. 1, 41 (1998). R. A. Silin and V. P. Sazonov, Slow-Wave Systems [in Russian], Sovetskoe Radio, Moscow (1966). L. N. Loshakov and Yu. N. Pchel'nikov, Theory and Calculation of Amplification in Traveling Wave Tubes [in Russian], Sovetskoe Radio, Moscow (1964). Yu. N. Pchelnikov (Pchel'nikov) and A. A. Yelizarov (Elizarov), Proc. SPIE Microelectronic Manufacturing Symposium, Santa Clara CA, N 3507-25, 225 (1998). K. Brindley, Sensors and Transducers, London (1988). V. A. Viktorov, B. V. Lunkin, and A. S. Sovlukov, Radio Wave Measurements of Parameters of Industrial Processes [in Russian], Énergoatomizdat, Moscow (1989). B. N. Petrov et al., Invariance Principle in Measurement Technology [in Russian], Nauka, Moscow (1976). Yu. N. Pchel'nikov and A. A. Elizarov, Metrologiya, No. 8, 20 (1994). A. A. Elizarov, Izmer. Tekh., No. 8, 60 (1997). Yu. N. Pchel'nikov et al., Authors' Patent Certificate No. 879281 USSR [in Russian], Byull. Izobret., No. 41 (1981). Yu. N. Pchel'nikov et al., Authors' Patent Certificate No. 879282 USSR [in Russian], Byull. Izobret., No. 41 (1981). Yu. N. Pchel'nikov, A. M. Amel'yanets, and M. A. Yavorskii, Authors' Patent Certificate No. 1023193 USSR [in Russian], Byull. Izobret., No. 23 (1983). Yu. N. Pchel'nikov et al., Authors' Patent Certificate No. 970090 USSR [in Russian], Byull. Izobret., No. 40 (1982). Yu. N. Pchel'nikov, A. M. Amel'yanets, and M. A. Yavorskii, Authors' Patent Certificate No. 1314231 USSR [in Russian], Byull. Izobret., No. 20 (1987). Yu. N. Pchel'nikov, A. M. Amel'yanets, and M. A. Yavorskii, Authors' Patent Certificate No. 1394050 USSR [in Russian], Byull. Izobret., No. 17 (1988). Yu. N. Pchel'nikov and V. V. Annenkov, Izmer. Tekh., No. 10, 17 (1996). Yu. N. Pchel'nikov et al., Patent Certificate No. 2134439 Russian Federation [in Russian], Byull. Izobret., No. 22 (1999). A. A. Elizarov and Yu. N. Pchel'nikov, Abstracts of Papers Presented at Intern. Sci. Tech. Conf. on Measurement Information Systems, IIS-94, Moscow (1994), p. 58. V. V. Annenkov, A. A. Elizarov and Yu. N. Pchel'nikov, Abstracts of Papers Presented at Intern. Sci. Tech. Conf. Devoted to the Day of Radio, Part II, Moscow (1995), p. 153. Yu. N. Pchel'nikov, A. A. Elizarov, and A. V. Fadeev, Izv. Vyssh. Uchebn. Zaved. Radioélektron., 35, No. 10, 76 (1992). Yu. N. Pchel'nikov, V. V. Annenkov, and A. A. Elizarov, Abstracts of Papers Presented at All-Russia Sci. Tech. Conf. on Sensors and Transducers of Systems for Measurement, Monitoring, and Control, DATChIK-95, Vol. 1 [in Russian], Gurzuf (1995), p. 70. Yu. N. Pchel'nikov et al., Abstracts of Papers Presented at Russian Sci. Tech. Conf. on New Materials and Mechanical Engineering Technology [in Russian], Moscow (1992), p. 20. Yu. N. Pchelnikov (Pchel'nikov), A. V. Fadeev, and V. V. Annenkov, Proc. Seventh Intern. Conf. on Vacuum Web Coating, Miami, FL (1993), p. 26. Yu. N. Pchelnikov (Pchel'nikov) and A. A. Yelizarov (Elizarov), Proc. SPIE Microelectronic Manufacturing Symposium, Austin TX, N 2876-18, 180 (1998). A. A. Elizarov and Yu. N. Pchel'nikov, Izv. Vyssh. Uchebn. Zaved. Radioélektron., 35, No. 5, 50 (1992). Yu. N. Pchel'nikov et al., Izmer. Tekh., No. 6, 57 (1994). A. A. Elizarov and Yu. N. Pchel'nikov, Élektron. Tekh. SVCh Tekh., No. 9- 10 (453- 454), 35 (1992). A. A. Elizarov and Yu. N. Pchel'nikov, Radiotekh. Élektron., 41, No. 3, 261 (1996). A. A. Elizarov and D. Yu. Nikonov, Certificate No. 990051 Russian Federation, “Registration of Computer Program HELIX for Modeling Helical Slow-Wave Systems and Layered Magnetodielectric Media” [in Russian], registered at the FIPS (Factographic Information Search System), December 11, (1998). Yu. N. Pchel'nikov and A. A. Elizarov, Abstracts of Papers Presented at Intern. Sci. Tech. Conf. on Relevant Problems of Electronic Instrument Engineering APÉR-94 [in Russian], Saratov (1994), p. 101. Yu. N. Pchel'nikov and A. A. Elizarov, Izmer. Tekh., No. 7, 61 (1995). Yu. N. Pchel'nikov et al., Izmer. Tekh., No. 5, 22 (1994). A. A. Elizarov, Izmer. Tekh., No. 2, 50 (1996).