Organometallic precursors in the growth of epitaxial thin films of III-V semiconductors by metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD)

Chemistry of Materials - Tập 3 Số 2 - Trang 225-242 - 1991
P. Zanella, G. Rossetto, N. Brianese, F. Ossola, Marina Porchia, John O. Williams

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo