Cảm biến con quay hồi chuyển vi mạch

Emerald - Tập 19 Số 1 - Trang 43-45 - 1999
Rob Yates1
1Rob Yates is Professor of Microsystems Technology in the Department of Engineering, Sheffield Hallam University, Pond Street, Sheffield S1 1WB, UK. Tel: +44 (0)114 225 4916; E‐mail: [email protected]

Tóm tắt

Nhiều cảm biến con quay hồi chuyển vi mạch (gyro) mới hiện nay đang có sẵn trên thị trường. Sự phát triển nhanh chóng của chúng chủ yếu do ngành công nghiệp ô tô. Có nhiều loại thiết bị khác nhau và hiệu suất của chúng đang cải thiện đáng kể hàng năm trong khi chi phí đang giảm. Hiện tại, nhiều nỗ lực đang được thực hiện để sản xuất số lượng lớn. Bài báo này cung cấp cái nhìn tổng quát về cảm biến con quay hồi chuyển và cũng mô tả một thiết bị quay vi mạch mới.

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

Shearwood, C., Williams, C.B., Mellor, P.H., Yates, R.B., Gibbs, M.R.J. and Mattingley, A.D. (1995), “Levitation of a micromachined rotor for application in a rotating gyroscope”, Electronic Letters, Vol. 31 No. 21, pp. 1845‐6. Söderkvist, J. (1994), “Micromachined gyroscopes”, Sensors and Actuators A, Vol. 43, pp. 65‐71.