Microfabrication of PPy microactuators and other conjugated polymer devices

Journal of Micromechanics and Microengineering - Tập 9 Số 1 - Trang 1-18 - 1999
Elisabeth Smela1
1Condensed Matter Physics and Chemistry Department, Risø National Laboratory, FYS-124, PO Box 49, DK-4000 Roskilde, Denmark

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

Gardner J W, 1991, Nanotechnology, 2, 19, 10.1088/0957-4484/2/1/003

10.1016/0924-4247(96)80053-7

10.1016/S0379-6779(96)03781-2

10.1002/adma.19970090505

10.1063/1.117012

10.1126/science.269.5227.1086

Smela E, 1998, Semicond. Sci. Technol., 13, 433, 10.1088/0268-1242/13/4/014

10.1002/(SICI)1521-4095(199802)10:3<233::AID-ADMA233>3.0.CO;2-M

10.1021/ja00241a057

10.1021/j100269a048

10.1021/j100254a028

10.1038/335137a0

10.1063/1.100171

10.1063/1.351491

Moliton A, 1998, 589

10.1016/0250-6874(89)87065-9

10.1016/0250-6874(89)87066-0

10.1016/0250-6874(89)80127-1

10.1016/0925-4005(92)80029-W

10.1016/0379-6779(92)90292-Q

Imisides M D, 1996, Chemtech, 26, 19

10.1039/an9931800371

Coghlan A, 1994, 20

Schoch K F, 1992, 52

Baughman R H, 1991, 267

10.1016/0379-6779(96)80158-5

Lee A P, 1994, 725

10.1126/science.268.5218.1735

Kanatzidis M G, 1990, Chem. Eng. News, 3, 36, 10.1021/cen-v068n049.p036

Yam P, 1995, Sci. Am., 74

Studt T, 1991, R&D Mag., 94

Reynolds J R, 1988, 440

Kaner R B, 1988, Sci. Am., 60

10.1126/science.278.5346.2071

Hadlington S, 1995, Chem. Ind., 11

Monkman A P, 1995, 142

Street G B, 1986, 265

10.1016/0079-6786(88)90007-6

Wallace G G, 1997

Roth S, 1995

Skotheim T A, 1998, 921

10.1002/(SICI)1521-4095(199803)10:5<365::AID-ADMA365>3.0.CO;2-U

MacDiarmid A G, 1997, MRS Bull., 24, 10.1557/S0883769400033595

10.1021/ar00118a005

Otero T F, 1997, 517

10.1039/a705341j

Lewis T W, 1997, Polym. Prep., 38, 520

Della Santa A, 1997, Smart Mater. Struct., 6, 23, 10.1088/0964-1726/6/1/003

10.1016/0379-6779(91)91199-K

10.1149/1.2085606

10.1021/j100124a041

Chiarelli P, 1994, 352

10.1016/0379-6779(95)80022-0

10.1016/0379-6779(94)02320-X

10.1016/0379-6779(95)03303-3

Smela E, 1998

Angelopoulos M, 1998, 921

10.1016/0040-6090(94)90787-0

10.1016/0379-6779(95)03359-9

10.1016/0379-6779(96)80120-2

10.1016/S0379-6779(97)80874-0

10.1016/0379-6779(94)90291-7

10.1016/0379-6779(93)90204-A

10.1002/adma.19970090608

10.1016/0379-6779(86)90183-9

10.1016/0379-6779(94)90076-0

Romankiw L T, 1997, 197

Bard A J, 1980

Sawyer D T, 1974

Adams R N, 1969

Adzic R R, 1993, 223

10.1016/0368-1874(83)80237-8

10.1016/0022-0728(93)80357-N

Diaz A F, 1986, 81

10.1002/apmc.1994.052180110

10.1016/0379-6779(93)90258-X

10.1016/0032-3861(96)00183-8

10.1149/1.2044042

10.1016/S0379-6779(97)03852-6

10.1149/1.2221238

10.1016/S0379-6779(97)80803-X

10.1016/0022-0728(94)03298-X

10.4028/www.scientific.net/MSF.42.63

10.1002/adma.19940061204

10.1016/0379-6779(94)03226-V

10.1021/j150551a015

10.1021/la9507848

10.1016/0379-6779(88)90337-2

10.1149/1.2124250

10.1016/0022-0728(90)85044-6

10.1007/BF01015243

10.1016/0013-4686(94)80058-8

10.1016/0032-3861(88)90288-1

Beck F, 1992, Bull. Electrochem., 8, 35

Rubinstein I, 1992

10.1016/0379-6779(94)02528-7

10.1021/la00001a050

10.1021/ja00371a045

10.1016/S0013-4686(98)00048-6

10.1117/12.175388

Holdcroft S, 1996

Zurer P S, 1998, Chem. Eng. News, 41

Holdcroft S, 1998, Polym. Prepr. (Am. Chem. Soc., Div. Polym. Chem.), 39, 85

10.1002/adma.19960080506

Rogers S, 1997

10.1246/cl.1986.657

10.1039/c39890000132

10.1039/c39890000657

10.1016/0379-6779(91)91564-Q

10.1016/0009-2614(69)85015-3

10.1149/1.2100582

10.1002/adma.19960080618

Bargon J, 1992, 47

10.1117/12.151136

10.1016/0379-6779(93)91067-C

Bazan G C, 1997

De Leeuw D M, 1994

Hikita M, 1985

Murphy O J, 1996

Mutsaers C M J, 1994

Naarmann H, 1992

Ohnishi Y, 1994, Aichi-ken Kogyo Gijutsu Senta Hokoku, 30, 107

Taguchi S, 1988

10.1002/adma.19950070613

10.1063/1.461183

Nannini A, 1990, J. Mol. Electron., 6, 81

Bruschi P, 1996, 69

10.1016/0928-4931(95)00122-0

10.1016/0379-6779(87)90960-X

10.1016/S0379-6779(97)80281-0

10.1246/cl.1994.1119

10.1016/S0379-6779(97)80768-0

10.1039/a606604f

10.1016/S0379-6779(97)80768-0

10.1021/cm00051a013

10.1021/la9706476

10.1021/la970537z

10.1021/ma00125a013

MacDiarmid A G, 1997, Polym. Prepr. (Am. Chem. Soc., Div. Polym. Chem.), 38, 522

10.1149/1.2221617

10.1117/12.280552

10.1002/adma.19970090203

10.1016/0167-9317(93)90207-L

10.1016/0379-6779(92)90029-I

10.1016/S0379-6779(97)80203-2

10.1002/adma.19920041112

10.1016/S0379-6779(97)80305-0

10.1016/0379-6779(88)90224-X

10.1016/S0928-4931(97)00056-8

10.1002/adma.19950070106

10.1149/1.2096765

Wei P K, 1996, Polym. Mater. Sci. Eng., 75, 325

10.1021/ar00050a002

10.1016/S0009-2614(96)01258-4

Johannsen I, 1998

10.1016/0250-6874(89)80072-1

10.1002/adma.19930050905

Smela E, 1994, 189

Smela E, 1995, 218

10.1021/j100204a071

James A M, 1992, 20

10.1016/S0379-6779(96)04177-X

Kallenbach M, 1996

Matencio T, 1994, J. Braz. Chem. Soc., 3, 191, 10.5935/0103-5053.19940033

10.1016/0167-2738(93)90291-A

Otero T F, 1993, 179

10.1002/(SICI)1099-0488(19980715)36:9<1591::AID-POLB16>3.0.CO;2-0

Heinze J, 1987, Makromol. Chem., Macromol. Symp., Suppl., 8, 73, 10.1002/masy.19870080108

Beck F, 1987, Makromol. Chem., Macromol. Symp., 8, 97, 10.1002/masy.19870080110

10.1016/0302-4598(95)01802-L

10.1006/mchj.1996.1411

Arquint P, 1994

Jager E W H, 1998, Sensors Actuators

Pei Q, 1993, Smart Mater. Struct., 2, 1, 10.1088/0964-1726/2/1/001

10.1143/JJAP.34.3786

10.1016/0379-6779(93)90499-M

10.1016/0379-6779(93)90186-Z