Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Giảm thiểu khuyết tật trong kim cương do bức xạ ion nhẹ
Tóm tắt
Việc loại bỏ các khuyết tật trong kim cương bằng cách bắn phá bằng ion nhẹ đã được nghiên cứu bằng các kỹ thuật quang phổ phản xạ Rutherford (RBS) và hướng kênh. Thiệt hại do 1 × 10^14 ion Sb cm−2 ở 300 keV (dưới ngưỡng liều lượng khả nghi cho quá trình graphit hóa) đã được quan sát giảm tới 50% dưới sự bắn phá của ion H và He. Quá trình hồi phục do bức xạ ion đã được nghiên cứu theo chức năng của liều ion và góc tới (hướng kênh và ngẫu nhiên). Mặc dù các tập dữ liệu khác nhau rõ rệt, nhưng chúng gần như trùng khớp khi liều lượng được chuẩn hóa theo năng lượng tích lũy từ các va chạm đàn hồi trong vùng bị hư hại. Điều này có thể chỉ ra rằng các va chạm hạt nhân, chứ không phải va chạm điện tử, đóng góp chủ yếu vào quá trình hồi phục tại chỗ trong một vật liệu cách điện tương đối tốt như kim cương.
Từ khóa
#kim cương #bức xạ ion #hồi phục #hạt nhân #va chạm điện tửTài liệu tham khảo
G. Braunstein, A. Talmi, R. Kalish, T. Bernstein, and R. Beserman, Radiat. Eff. 48, 139 (1980).
R. S. Nelson and K. Rustbridge, Ion Beam Modification of Materials Conference, Albany, New York, 1980 (unpublished).
G. Braunstein and R. Kalish, Appl. Phys. Lett. 38, 416 (1981).
J. E. Westmoreland, J. W. Mayer, F. H. Eisen, and B. Welch, Radiat. Eff. 6, 161 (1970).
J. Linnros, B. Svensson, and G. Holmen, Phys. Rev. B 30, 3629 (1984).
I. Golecki, G. E. Chapman, S. S. Lau, B. Y. Tsaur, and J. W. Mayer, Phys. Lett. A 71, 267 (1979).
J. S. Williams, W. L. Brown, R. G. Elliman, R. V. Knoell, D. M. Maher, and T. E. Seidel, in the Proceedings of the Materials Research Society, 1985 (in press).
J. Nakata and K. Kajiyama, Appl. Phys. Lett. 40, 686 (1982).
G. Braunstein, M. Sc. thesis, Department of Physics, Technion, 1978.
J. P. Biersack, in Ion Implantation Equipment, edited by H. Ryssel and H. Glawischnig (Springer, Berlin, 1982).
W. D. Wilson and J. P. Biersack, Phys. Rev. B 15, 2458 (1977).
R. W. Fearick and J. P. F. Sellschop, Nucl. Instrum. Methods 168, 51 (1980).
J. G. Gibbons, W. S. Johnson, and S. W. Mylroie, Projected Range Statistics (Halsted, Stroudsburg, PA, 1975), 2nd ed.
F. H. Eisen, Channeling, edited by D. V. Morgan (Wiley, New York, 1973), Chap. XIV.
E. Bøgh, Can. J. Phys. 46, 653 (1968).
A. Talmi, R. Beserman, G. Braunstein, T. Bernstein, and R. Kalish, Inst. Phys. Conf. Ser. 46, 347 (1979); G. Braunstein, A. Talmi, R. Kalish, and T. Bernstein, Radiat. Eff. 48, 139 (1980).