Laser induced fluorescence diagnostics in polymer deposition and processing

Gus Hancock1
1Physical and Theoretical Chemistry Laboratory, Oxford University, Oxford, United Kingdom

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

C. E. Moore, Atomic energy levels,NSRDS NBS 35, 1.

K. P. Huber and G. Herzberg,Molecular Spectra and Molecular Structure IV: Constants of Diatomic Molecules, Van Nostrand Rheinhold, New York (1979).

W. Hack,Int. Rev. Phys. Chem. 4, 165 (1985).

M. E. Jacox,J. Phys. Chem. Ref. Data p. 1 (1994).

M. Suto and N. Washida,J. Chem. Phys. 78, 1007, 1012 (1983).

G. C. Herring, M. J. Dyer, L. E. Jusinski, and W. K. Bischel,Opt. Lett. 13, 360 (1988).

F. Holland, M. Hessling, and A. Hofzumahaus,J. Atm. Sci. 52, 3393 (1995).

B. K. Woodcock, J. R. Busby, T. G. M. Freegarde, and G. Hancock,Proc. Int. Symp. Laser-Aided Plasma Diagnostics 7, 381 (1995).

B. K. Woodcock, J. R. Busby, T. G. M. Freegarde, and G. Hancock,J. Appl. Phys. 81, 5945 (1997).

M. J. Goeckner and J. Goree,J. Vac. Sci. Technol. A7, 977 (1989).

J. P. Booth, G. Hancock, M. J. Toogood, and K. G. McKendrick,J. Phys. Chem. 100, 47 (1996).

J. P. Booth, G. Hancock, N. D. Perry, and M. Toogood,Proc. Mat. Res. Symp. 117, 47 (1988).

W. K. Bischel, D. J. Bamford, and L. E. Jusinski,Appl. Opt. 25, 1215 (1986).

W. Jacob, W. Engelhard, W. Möller, and A. Koch,Appl. Phys. Lett. 64, 971 (1994).

J. P. Booth, G. Hancock, N. D. Perry, and M. J. Toogood,J. Appl. Phys. 66, 5251 (1989).

J. P. Booth and G. Hancock,Mat. Sci. Forum 140, 219 (1993).

R. E. Walkup, K. L. Saenger, and G. S. Selwyn,J. Chem. Phys. 84, 2668 (1986).

G. S. Selwyn,J. Appl. Phys. 60, 2771 (1986).

G. Hancock and M. J. Toogood,Appl. Phys. Lett. 60, 35 (1992).

J. P. Booth and N. Sadeghi,J. Appl. Phys. 70, 611 (1991).

G. Hancock, L. Lanyi, J. P. Sucksmith, and B. K. Woodcock,Pure and Appl. Chem. 66, 1207 (1994).