Cảm biến khí hydro dựa trên màng mỏng TiO2 tinh thể nano

Open Physics - Tập 9 Số 5 - 2011
Azhar Ali Haidry1, Peter J. Schlosser1, Pavol Ďurina1, Marián Mikula, M. Tomášek, T. Pleceník1, Т. Роч1, A. Pidík1, M. Štefečka, Jaroslav Noskovic1, M. Záhoran1, P. Kúš1, A. Plecenı́k1
1Department of Experimental Physics, Faculty of Mathematics, Physics and Informatics, Comenius University, Bratislava, Czechoslovakia

Tóm tắt

Tóm tắt

Các màng mỏng titanium dioxide (TiO2) đã được nghiên cứu rộng rãi cho các ứng dụng trong thiết bị cảm biến khí trạng thái rắn. Tính chất cảm biến khí của chúng phụ thuộc mạnh mẽ vào kỹ thuật lắng đọng, nhiệt độ điều hòa, độ dày của màng và các đặc tính tiếp theo như cấu trúc tinh thể, kích thước hạt hoặc lượng khiếm khuyết và tạp chất. Trong nghiên cứu này, chúng tôi báo cáo về tính chất cảm biến khí của các màng mỏng TiO2 được chuẩn bị bằng kỹ thuật phun từ dị thể phản ứng và sau đó được điều hòa ở nhiệt độ 600°C và 900°C. Các màng mỏng này đã được tiếp xúc với các nồng độ khác nhau của khí H2 lên tới 10 000 ppm. Độ nhạy của chúng đối với khí ở các nhiệt độ hoạt động khác nhau, từ 250°C đến 450°C, được xác định bằng cách đo điện trở của chúng.

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

U. Diebold, Surf. Sci. Rep. 48, 53 (2003)

M. Paulose et al., Nanotechnology 17, 398 (2006)

A.S. Zuruzi et al., Angew. Chem. Int. Ed. 46, 4298 (2007)

Y.-K. Jun et al., Sensor. Actuat. B-Chem. 120, 69 (2006)

H. Tang et al., Sensor. Actuat. B-Chem. 26–27, 71 (1995)

D. Mardare et al., J. Non-Cryst. Solids 354, 4396 (2008)

N.O. Savage et al., Sensor. Actuat. B-Chem. 72. 239 (2001)

A.M. Ruiz et al., Sensor. Actuat. B-Chem. 93, 509 (2003)

I. Alessandri et al., Sensor. Actuat. B-Chem. 128, 312 (2007)

M.-H. Seo et al., Procedia Chemistry 1, 192 (2009)

M. Zhang et al., Sensor. Actuat. B-Chem. 148, 87 (2010)

I. Hayakawa et al., Sensor. Actuat. B-Chem. 62, 55 (2000)

M. Radecka et al., Sensor. Actuat. B-Chem. 47, 194 (1998)

N. Barsan, U. Weimar, J. Electroceram. 7, 143 (2001)

P. Singh et al., Physica B 403, 3769 (2008)

N. Sbai et al., Surf. Sci. 601, 5649 (2007)

K. Zakrzewska, Titanium Dioxide Thin Films for Gas Sensors and Photonic Applications (AGH University of Science and Technology, Krakow, 2003)

C. Malagu et al., Appl. Phys. Lett. 84, 4158 (2004)

G. Martinelli, M.C. Carotta, Sensor. Actuat. B-Chem. 23, 157 (1995)

Thông tin
Thông tin xuất bản

Open Physics

Tập 9 Số 5

Thông tin tác giả