Sự hình thành của các hợp kim liên kim loại và khuếch tán ở ranh giới hạt trong cặp màng mỏng Cu-Al và Au-Al

J. M. Vandenberg1, F. J. A. den Broeder1, R. A. Hamm1
1Bell Labs, Murray Hill, USA

Tóm tắt

Một nghiên cứu X-quang điều chỉnh in situ đã được áp dụng cho các cặp màng mỏng Cu-Al ở nhiều tỉ lệ màng đồng đến nhôm khác nhau. Kỹ thuật mới này, đã được mô tả trước đây cho một nghiên cứu trên hệ thống màng mỏng Au-Al, cho phép chúng tôi thực hiện phân tích X-quang theo nhiệt độ có tính chất chụp ảnh. Nghiên cứu hiện tại chỉ ra rằng chỉ một số ít các pha bulk đa dạng hình thành ở giao diện màng mỏng Cu-Al, trong khi một số pha này ở giao diện thuộc về trạng thái thoáng qua. Trong các giai đoạn thoáng qua của phản ứng giao diện, pha có trật tự f.c.c. β-Cu3A1 phát triển trên toàn bộ dải tỉ lệ màng đồng và nhôm sau sự hình thành hạt đầu tiên của CuA12, cho thấy một phản ứng hình thành hạt hai bước. Ở phía giàu nhôm, pha này biến đổi thành một pha mới có trật tự hình lục giác β′. Nó có thể được diễn giải như một mạng siêu trong pha hình lục giác omega không ổn định xuất hiện trong các hợp kim dựa trên zirconium. Các pha kết thúc là CuA1 và CuAl2.

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

10.1016/0040-6090(75)90256-4

10.1116/1.1315715

10.1063/1.324182

1976, Diffus. Data, 12, 25

Tousek, 1974, Kokove Mater., 12, 561

10.1149/1.2428700

10.1016/0036-9748(79)90078-4

10.1016/0001-6160(72)90024-7

15 den Broeder F. J. A. and Nakahara S. , to be published.

10.1007/BF02818642

10.1016/0001-6160(81)90073-0

Vandenberg, Thin Solid Films

den Broeder, Acta Metall.

10.1116/1.571021

10.1080/01418618108239536

10.1016/0001-6160(78)90132-3

10.1016/0040-6090(80)90064-4