Fabrication of microstructures with high aspect ratios and great structural heights by synchrotron radiation lithography, galvanoforming, and plastic moulding (LIGA process)

Becker, 1982, Production of separation nozzle systems for uranium enrichment by a combination of X-ray lithography and galvanoplastics, Naturwissenschaften, 69, 520, 10.1007/BF00463495

Heuberger, 1980, Present status and problems of X-ray lithography, Festkörperprobleme/Advances in Solid State Physics, 20, 259, 10.1007/BFb0116745

Becker, 1984, Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente

Münchmeyer, 1984, Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente

V. Ghica and W. Glashauser, Verfahren für die spannungsfreie Entwicklung von bestrahlten Polmethylmethacrylat-Schicten, Pffenlegungsschrift DE 3039110 Siemens AG, Munich.

Ehrfeld, 1985, Verfahren zur Herstellung von Masken für die Röntgentiefenlithographie, DP Anmeldung

Legierse, 1984, Electroformed moulds for optical readout discs, Plating and Surface Finishing, 20–25, 21

Watson, 1976

Einfeld, 1985, Entwurf einer Synchrotronstrahlungsquelle mit supraleitenden Ablenkmagneten für die Mikrofertigung nach dem LIGA-Verfahren

Becker, 1986, Konzepte für die Herstellung von Vielkanal-Bildverstärkerplatten durch Röntgentiefenlithographie und Mikrogalvanoplalstik

Ehrfeld, 1984, Verfahren zur Herstellung mechanisch trennbarer Viefach-Verbindungen für den elektrischen Anschluβ mikroelektronischer Bauelemente und nach diesem Verfahren hergestellte Vielfach-Verbindungen, DP Anmeldung

Becker, 1985, Konzepte für die Herstellung von Spinnüsenplatten durch Röntgenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung

Ehrfeld, 1985, Verfahren zum Herstellen plattenförmiger Mikrostrukturkörper, DP Anmeldung

Petersen, 1982, Silicon as a mechanical material, Proc. IEEE, 70, 420, 10.1109/PROC.1982.12331

Fischer, 1983, Production and use of nuclear tracks: Imprinting structure on solids, Rev. Mod. Phys., 55, 907, 10.1103/RevModPhys.55.907