Chế tạo và đặc tính cảm biến khí ethanol của cảm biến khí ZnO nanowire

Applied Physics Letters - Tập 84 Số 18 - Trang 3654-3656 - 2004
Qing Wan1, Q. H. Li1, Yujin Chen1, T. H. Wang1, Xiaobo He2, J. P. Li2, Chuan Lin3
1Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, People's Republic of China
2State Key Laboratory of Transducer Technology, Institute of Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080, People's Republic of China
3Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, People’s Republic of China

Tóm tắt

Dựa trên thành tựu của việc tổng hợp các nanowire ZnO trong sản xuất hàng loạt, các cảm biến khí nanowire ZnO đã được chế tạo bằng công nghệ hệ thống vi cơ điện tử và đặc tính cảm biến ethanol đã được nghiên cứu. Cảm biến cho thấy độ nhạy cao và thời gian phản hồi nhanh đối với khí ethanol ở nhiệt độ làm việc 300 °C. Kết quả của chúng tôi cho thấy tiềm năng ứng dụng của nanowire ZnO trong việc chế tạo các cảm biến khí có độ nhạy cao.

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

1991, Sens. Actuators B, 5, 7, 10.1016/0925-4005(91)80213-4

1995, Sens. Actuators B, 23, 103, 10.1016/0925-4005(94)01278-P

1991, Nature (London), 354, 56, 10.1038/354056a0

1998, Science, 279, 208, 10.1126/science.279.5348.208

2002, Appl. Phys. Lett., 81, 144, 10.1063/1.1492008

2000, Science, 287, 622, 10.1126/science.287.5453.622

2003, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.), 15, 997, 10.1002/adma.200304889

2003, Appl. Phys. Lett., 82, 1613, 10.1063/1.1559438

2002, Appl. Phys. Lett., 81, 1869, 10.1063/1.1504867

1999, J. Mater. Sci., 34, 4225, 10.1023/A:1004694501646

1993, Sens. Actuators B, 14, 594, 10.1016/0925-4005(93)85106-K

1992, Sens. Actuators B, 8, 117, 10.1016/0925-4005(92)85017-Q

2000, Mater. Chem. Phys., 64, 62, 10.1016/S0254-0584(99)00267-9

2004, Appl. Phys. Lett., 84, 124, 10.1063/1.1637939

2003, Sens. Actuators B, 93, 463, 10.1016/S0925-4005(03)00205-3

2001, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.), 13, 1468, 10.1002/1521-4095(200110)13:19<1468::AID-ADMA1468>3.0.CO;2-O

Thông tin
Thông tin xuất bản

Applied Physics Letters

Tập 84 Số 18

3654-3656

Thông tin tác giả