Ảnh hưởng của nồng độ Metan và xử lý Hydro lên định hướng ưa thích trong các lớp màng kim cương được phát triển bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học

Springer Science and Business Media LLC - Tập 339 - 1994
D. Ganesan1, S. C. Sharma1
1Department of Physics and Materials Science & Engineering, Program The University of Texas at Arlington, Arlington, USA

Tóm tắt

TÓM TẮTChúng tôi đã tiến hành phân tích nhiễu xạ tia X, phổ Raman và kính hiển vi điện tử quét đối với các lớp màng kim cương được phát triển bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học hỗ trợ bằng sợi nóng (HFCVD). Chúng tôi trình bày kết quả về sự phong phú tương đối của các mặt (111), (220) và (400) trong các lớp màng kim cương tinh thể đa dạng như là các hàm của nồng độ CH4. Cường độ của đỉnh (111) có thể thay đổi từ khoảng 20% đến 60% bằng cách điều chỉnh nồng độ CH4 trong hỗn hợp CH4/H2. Chúng tôi cũng trình bày kết quả về định hướng ưa thích trong các lớp màng được phát triển dưới các điều kiện xử lý hydro khác nhau. Chúng tôi thảo luận về mối tương quan giữa định hướng ưa thích, FWHM của đỉnh kim cương trong phổ Raman và hình thái bề mặt của các lớp màng.

Từ khóa

#Nồng độ Metan #xử lý Hydro #lắng đọng hơi hóa học #kim cương #định hướng ưa thích

Tài liệu tham khảo

10.1016/0025-5408(88)90161-4

10.1111/j.1151-2916.1989.tb06099.x

Lettington, 1993, Philos. Trans.: Phys. Scien. Eng., 342, 193

10.1557/JMR.1990.2469

10.1063/1.101830

2. New Diamond Science and Technology, eds. Messier R. , Glass J. T. , Butler J. , and Roy R. , Mater. Res. Soc., (1990).

8. See Powder Diffraction File, Set 6–10, Published by the Joint Committee on Powder Diffraction Standards, Card Number : 6–0675, 1967.

10.1557/JMR.1990.2424

Thông tin
Thông tin xuất bản

Springer Science and Business Media LLC

Tập 339

Thông tin tác giả