Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Tác động của điện thế phân cực đến cấu trúc và phân bố của các nguyên tố trong lớp phủ titanium nitride thu được qua quá trình lắng đọng bằng hồ quang catot
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques - Tập 10 - Trang 648-651 - 2016
Tóm tắt
Nghiên cứu chỉ ra rằng sự thay đổi điện thế phân cực xung trong quá trình lắng đọng bằng hồ quang catot của titanium nitride có ảnh hưởng đáng kể đến cấu trúc và thành phần của các lớp phủ, cũng như đến lượng phân đoạn vi giọt. Một điện thế phân cực trên 50 V dẫn đến sự giảm tốc độ tăng trưởng của lớp phủ, điều này liên quan đến việc tái lắng đọng lớp phủ do các ion được tăng tốc từ plasma.
Từ khóa
#điện thế phân cực #titanium nitride #lắng đọng #hồ quang catot #cấu trúc lớp phủTài liệu tham khảo
X. Xu, Mater. Prot. 33, 28 (2000).
N. N. Nikitenkov, E. B. Kashkarov, Yu. I. Tyurin, and N. I. Nikiforova, Izv. Vyssh. Uchebn. Zaved., Fiz. 57 (11/2), 134 (2014).
E. B. Kashkarov, N. N. Nikitenkov, Yu. I. Tyurin, M. S. Syrtanov, and Zhang Le, IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 81, 012017 (2015).
A. A. Andreev, L. P. Sablev, V. M. Shulaev, and S. N. Grigor’ev, Vacuum Arc Devices and Coatings (Kharkovsk. Fiz. Tekh. Inst., Kharkov, 2005) [in Russian].
Q. Liu and J. Qu, Mater. Mech. Eng. 26, 20 (2002).
A. I. Ryabchikov, I. A. Ryabchikov, and I. B. Stepanov, Vacuum 78 (2–4), 331 (2005).
Li-na Tong, Fan-yu Meng, Li-ge Wang, and Mei-dong Huang, in Proc. 10th Int. Conf. on Vacuum Metallurgy and Surface Engineering (Shenyang, China, 2011), 237.
G. P. Zhang, G. J. Gao, X. Q. Wang, G. H. Lv, L. Zhou, H. Chen, H. Pang, S. Z. Yang, Appl. Surf. Sci. 258, 7274 (2012).
I. Grimberg, V. N. Zhitomirsky, R. L. Boxman, and S. Goldsmith, Surf. Coat. Technol. 108–109, 154 (1998).
D. E. Wolfe and J. Sigh, J. Mater. Sci. 34, 2997 (1999).
A. Matthews and A. R. Lefkow, Thin Solid Films 126, 283 (1984).