Decrease of oxygen vacancy by Zn-doped for improving solar-blind photoelectric performance in β-Ga2O3 thin films

Daoyou Guo1, Xingzhen Qin1, M. Lv1, Haoze Shi1, Yuanli Su1, Guosheng Yao1, Shunli Wang1, Chaorong Li1, Peigang Li1, Weihua Tang2
1Center for Optoelectronics Materials and Devices, Department of Physics, Zhejiang Sci-Tech University, Hangzhou 310018, China
2State Key Laboratory of Information Photonics and Optical Communications & Laboratory of Optoelectronics Materials and Devices, School of Science, Beijing University of Posts and Telecommunications, Beijing, 100876, China

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

R. Roy, V. G. Hill, and E. F. Osborn, J. Am. Chem. Soc. 74, 719 (1952).

X. L. Zhao, Z. P. Wu, D. Y. Guo, W. Cui, P. G. Li, Y. H. An, L. H. Li, and W. H. Tang, Semicond. Sci. Technol. 31, 065010 (2016).

M. Higashiwaki, K. Sasaki, H. Murakami, Y. Kumagai, A. Koukitu, A. Kuramata, T. Masui, and S. Yamakoshi, Semicond. Sci. Technol. 31, 034001 (2016).

L. Dong, R. Jia, B. Xin, B. Peng, and Y. Zhang, Sci. Rep. 7, 40160 (2017).

D. Y. Guo, Y. H. An, W. Cui, Y. S. Zhi, X. L. Zhao, M. Lei, L. H. Li, P. G. Li, Z. P. Wu, and W. H. Tang, Sci. Rep. 6, 25166 (2016).

D. Y. Guo, P. G. Li, Z. P. Wu, W. Cui, X. L. Zhao, M. Lei, L. H. Li, and W. H. Tang, Sci. Rep. 6, 24190 (2016).

M. Orita, H. Ohta, M. Hirano, and H. Hosono, Appl. Phys. Lett. 77, 4166 (2000).

M. Higashiwaki, K. Sasaki, A. Kuramata, T. Masui, and S. Yamakoshi, Appl. Phys. Lett. 100, 013504 (2012).

D. Y. Guo, Z. P. Wu, Y. H. An, H. Liu, X. C. Guo, H. Yan, G. F. Wang, C. L. Sun, L. H. Li, and W. H. Tang, Opt. Mater. Express 4, 1067 (2014).

D. Y. Guo, H. Z. Shi, Y. P. Qian, M. Lv, P. G. Li, Y. L. Su, Q. Liu, K. Chen, S. L. Wang, C. Cui, C. R. Li, and W. H. Tang, Semicond. Sci. Technol. 32, 03LT01 (2017).

L. Binet and D. Gourier, J. Phys. Chem. Solids 59, 1241 (1998).

L. Dong, R. Jia, B. Xin, and Y. Zhang, J. Vac. Sci. Technol. A 34, 060602 (2016).

M. Orita, H. Hiramatsu, H. Ohta, M. Hirano, and H. Hosono, Thin Solid Films 411, 134 (2002).

S. Kiyoshi, G. Eneamnacion, T. U. Villora, and A. Kazuo, Appl. Phys. Lett. 92, 1914 (2008).

N. Suzuki, S. Ohira, and M. Tanaka, Phys. Status Solidi 4, 2310 (2007).

Y. X. Li, A. Trinchi, W. Wlodarski, K. Galatsis, and K. Kalantar-zadeh, Sens. Actuat. B 93, 431 (2003).

C. Li, J. L. Yan, L. Y. Zhang, and G. Zhao, Chinese Phys. B 21, 127104 (2012).

X. H. Wang, F. B. Zhang, K. Saito, T. Tanaka, M. Nishio, and Q. X. Guo, J. Phys. Chem. Solids 75, 1201 (2014).

F. Alema, B. Hertog, O. Ledyaev, D. Volovik, G. Thoma, R. Miller, A. Osinsky, P. Mukhopadhyay, S. Bakhshi, H. Ali, and W. V. Schoenfeld, Phys. Status Solidi (a) 1600688, 1 (2017).

Q. Zhang, J. Lin, Y. T. Yang, Z. Z. Qin, D. Li, S. Wang, Y. Liu, X. Zou, Y. B. Wu, and T. Wu, J. Mater. Chem. C 4, 10435 (2016).

D. Y. Guo, X. L. Zhao, Y. S. Zhi, W. Cui, Y. Q. Huang, Y. H. An, P. G. Li, Z. P. Wu, and W. H. Tang, Mater. Lett. 164, 364 (2016).

X. Li, X. Zhong, Y. Hu, B. Li, Y. Sheng, Y. Zhang, C. Weng, M. Feng, H. Han, and J. Wang, J. Phys. Chem. Lett. 8, 1804 (2017).

D. R. Jung, D. Son, J. Kim, C. Kim, and B. Park, Appl. Phys. Lett. 93, 163118 (2008).

D. Y. Guo, Z. P. Wu, Y. H. An, P. G. Li, P. C. Wang, X. L. Chu, X. C. Guo, Y. S. Zhi, M. Lei, L. H. Li, and W. H. Tang, Appl. Phys. Lett. 106, 042105 (2015).

D. Y. Guo, Z. P. Wu, Y. H. An, X. C. Guo, X. L. Chu, C. L. Sun, L. H. Li, P. G. Li, and W. H. Tang, Appl. Phys. Lett. 105, 023507 (2014).

D. Shao, H. Sun, J. Gao, G. Xin, A. M. Anthony, T. Yao, N. Koratkar, and J. Lian, Nanoscale 6, 13630 (2014).

F. Yi, Q. Liao, X. Yan, Z. Bai, Z. Wang, X. Chen, Q. Zhang, Y. Huang, and Y. Zhang, Phys. E 61, 180 (2014).