Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Mảng cảm biến pyroelectric PZT dày cho việc đo vị trí XY không tiếp xúc
SENSORS, 2002 IEEE - Tập 2 - Trang 889-894 vol.2
Tóm tắt
Bài báo trình bày về thiết kế, chế tạo và đặc trưng hóa thực nghiệm của một mảng cảm biến pyroelectric được làm từ 8x8 pixel PZT in trên một nền alumina. Khi một diode phát sáng (LED) điều chế biên độ được đặt trước mảng và di chuyển trong mặt phẳng XY song song với bề mặt mảng, mảng và LED lần lượt hoạt động như phần tử tham chiếu và đầu vào không tiếp xúc của một cảm biến vị trí hai chiều.
Từ khóa
#Mảng cảm biến #Pyroelectricity #Cảm biến phim dày #Đo vị trí #Đo độ dày #Điện cực #Diode phát sáng #Phim dày #Mảng quang học #Nhiệt độTài liệu tham khảo
10.1088/0957-0233/8/1/005
10.1016/0924-4247(94)00927-A
10.1109/IMTC.2001.928826
baudry, 1991, Thick film pyroelectric sensor array, Proc 8th European Hybrid Microelectronics Conf, 227235
10.1109/58.726450
10.1016/S0924-4247(99)00056-4
capineri, 1998, 3/spl times/3 matrix of thick-film pyroelectric transducers, Electronics Letters, 34, 1486, 10.1049/el:19981033
10.1016/S0924-4247(98)00020-X
10.1088/0034-4885/64/10/203
capineri, 1998, Array of pyroelectric transducers in thick-film technology, Sensors and Microsystems Proceedings of the 3rd Italian Conference on Sensors and Microsystems AISEM Genoa, 1999, 281
10.1088/0034-4885/49/12/002