Mảng cảm biến pyroelectric PZT dày cho việc đo vị trí XY không tiếp xúc

SENSORS, 2002 IEEE - Tập 2 - Trang 889-894 vol.2
V. Ferrari1, A. Ghisla1, D. Marioli1, A. Taroni1
1Dip. Elettronica per 1E28099Automazione and INFM, Universitá di Brescia, Brescia, Italy

Tóm tắt

Bài báo trình bày về thiết kế, chế tạo và đặc trưng hóa thực nghiệm của một mảng cảm biến pyroelectric được làm từ 8x8 pixel PZT in trên một nền alumina. Khi một diode phát sáng (LED) điều chế biên độ được đặt trước mảng và di chuyển trong mặt phẳng XY song song với bề mặt mảng, mảng và LED lần lượt hoạt động như phần tử tham chiếu và đầu vào không tiếp xúc của một cảm biến vị trí hai chiều.

Từ khóa

#Mảng cảm biến #Pyroelectricity #Cảm biến phim dày #Đo vị trí #Đo độ dày #Điện cực #Diode phát sáng #Phim dày #Mảng quang học #Nhiệt độ

Tài liệu tham khảo

10.1088/0957-0233/8/1/005 10.1016/0924-4247(94)00927-A 10.1109/IMTC.2001.928826 baudry, 1991, Thick film pyroelectric sensor array, Proc 8th European Hybrid Microelectronics Conf, 227235 10.1109/58.726450 10.1016/S0924-4247(99)00056-4 capineri, 1998, 3/spl times/3 matrix of thick-film pyroelectric transducers, Electronics Letters, 34, 1486, 10.1049/el:19981033 10.1016/S0924-4247(98)00020-X 10.1088/0034-4885/64/10/203 capineri, 1998, Array of pyroelectric transducers in thick-film technology, Sensors and Microsystems Proceedings of the 3rd Italian Conference on Sensors and Microsystems AISEM Genoa, 1999, 281 10.1088/0034-4885/49/12/002