Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Nghiên cứu sự không đồng nhất của cấu trúc màng mỏng với sự trợ giúp của cộng hưởng từ tính
Tóm tắt
Kích thước tuyến tính của các cấu trúc màng mỏng, được sử dụng trong nhiều thiết bị vi điện tử, đạt đến hàng chục milimét. Trong trường hợp này, độ đồng nhất của các cấu trúc trên diện tích trở thành một yếu tố thiết yếu. Cộng hưởng từ tính như một hiệu ứng vật lý, các tham số tín hiệu của nó liên quan đến nhiều đặc điểm vật lý của đối tượng được nghiên cứu (từ hóa, hằng số anisotropy, v.v.), cho phép tạo ra một phương pháp thuận tiện để xác định các đặc điểm này trong các đoạn khác nhau của đối tượng được nghiên cứu.
Từ khóa
#cấu trúc màng mỏng #cộng hưởng từ tính #độ đồng nhất #thiết bị vi điện tửTài liệu tham khảo
Frait, Z., Kambersky, V., and Ondirs, M., Local variations of uniaxial anisotropy in the thin films, Czech. J. Phys., 1960, vol. 10, no. 8, pp. 616–619.
Coumes, A., Etude lokaele de par lames minces par resonance ferromagnetique, Arch. Sci., 1961, vol. 14, fasc. spec., pp. 206–209.
Soohoo, R.F., A microwave magnetic microscope, J. Appl. Phys., 1962, vol. 33, no. 3, suppl., pp. 1276–1277.
Krinchik, G.S. and Nurmukhamedov, G.M., Test facility for researching properties of some microspots of matrix memory board, in II Vsesoyuznaya nauchn.-tekhnich. konf. po operativnym i postoyannym ZU. Sb. dokl (Proc. 2nd All-Union Sci.-Tech. Conf. on Operation and Permanent Storage Units), Moscow, 1965.