Variable-angle spectroscopic ellipsometry for deep UV characterization of dielectric coatings

Thin Solid Films - Tập 261 - Trang 37-43 - 1995
A. Zuber1, N. Kaiser1, J.L. Stehlé2
1Fraunhofer Einrichtung für Angewandte Optik und Feinmechanik Jena, Schillerstr, 1, D-07745 Jena, Germany
2SOPRA S.A., 26 nue Pierre Joigneaux, F-92270 Bois-Colombes, France

Tài liệu tham khảo

Thông tin
Thông tin xuất bản

Thin Solid Films

Tập 261

37-43

Thông tin tác giả