Silicon hotplates for metal oxide gas sensor elements

Microsystem Technologies - 1997
Giorgio Sberveglieri1, W. Hellmich1, Gerhard Müller2
1Università degli Studi di Brescia, Dipartimento di Chimica e Fisica per l’ingegneria e per i Materiali, Gas Sensor Laboratory, Via Valotti 9, I-25133 Brescia, Italy, , IT
2Daimler-Benz AG, Research & Development, F2 M/M Postfach 80 04 65, D-81663 München, Germany, , DE

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

Thông tin
Thông tin xuất bản

Microsystem Technologies

Thông tin tác giả