Process research of high aspect ratio microstructure using SU-8 resist

Microsystem Technologies - 2004
J. Liu1, Bingchu Cai1, Jiali Zhu1, Guifu Ding1, Xiaomei Zhao1, Ching‐Fen Yang1, D. Chen1
1The State Laboratory of Micro/Nanometer Fabrication Technology, Information Storage Research Center, Shanghai, PR China

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

Thông tin
Thông tin xuất bản

Microsystem Technologies

Thông tin tác giả