Piezoelectric Properties of (K,Na)NbO<sub>3</sub>Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

Applied Physics Express - Tập 1 Số 1 - Trang 011501
Kenji Shibata1, Fumihito Oka1, Akio Ohishi1, Tomoyoshi Mishima1, Isaku Kanno2
1Advanced Electronic Materials Research Department, Research and Development Laboratory, Hitachi Cable Ltd., 3550 Kidamari, Tsuchiura, Ibaraki 300-0026, Japan
2Department of Micro Engineering, Kyoto University, Yoshida-honmachi, Sakyo-ku, Kyoto 606-8501, Japan

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

Maeder, 2004, J. Electroceram., 13, 385, 10.1007/s10832-004-5130-y

Saito, 2004, Nature (London), 432, 84, 10.1038/nature03028

Soderlind, 2005, J. Cryst. Growth, 281, 468, 10.1016/j.jcrysgro.2005.04.044

Onoe, 1996, Appl. Phys. Lett., 69, 167, 10.1063/1.117360

Wang, 1998, Appl. Phys. Lett., 73, 927, 10.1063/1.122040

Oh, 2006, Jpn. J. Appl. Phys., 45, 7465, 10.1143/JJAP.45.7465

Saito, 2004, Jpn. J. Appl. Phys., 43, 6627, 10.1143/JJAP.43.6627

Kanno, 2003, Sens. Actuators A, 107, 68, 10.1016/S0924-4247(03)00234-6

Mino, 2007, Jpn. J. Appl. Phys., 46, 6960, 10.1143/JJAP.46.6960

Haertling, 1967, J. Am. Ceram. Soc., 50, 329, 10.1111/j.1151-2916.1967.tb15121.x

Dubois, 1999, Sens. Actuators A, 77, 106, 10.1016/S0924-4247(99)00070-9

Zhang, 2006, J. Appl. Phys., 100, 104108, 10.1063/1.2382348

Thông tin
Thông tin xuất bản

Applied Physics Express

Tập 1 Số 1

011501

Thông tin tác giả