Molecular beam epitaxy growth of high-quality HgCdTe LWIR layers on polished and repolished CdZnTe substrates

Journal of Electronic Materials - Tập 34 Số 6 - Trang 885-890 - 2005
R. Singh1, Silviu Velicu1, J. Crocco1, Yong Chang2, Jun Zhao2, L. A. Almeida3, J. K. Markunas3, A. W. Kaleczyc3, J. H. Dinan3
1EPIR Technologies Inc., Bolingbrook
2University of Illinois at Chicago, Chicago
3Night Vision and Electronic Sensors Directorate, Ft. Belvoir

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

J.V. Gromley, M.J. Manfra, and A.R. Calawa, Hydroplane Polishing of Semiconductor Crystals. Rev. Sci. Instrument. 52, 1256 (1981).

R.K. Singh, R. Bajaj, M. Moinpour, and M. Meuris, Chemical-Mechanical Polishing 2000: Fundamentals and Materials Issues (Warrendale, PA: MRS, 2000, vol. 613.

Thông tin
Thông tin xuất bản

Journal of Electronic Materials

Tập 34 Số 6

885-890

Thông tin tác giả