Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Sự biến đổi của các màng carbon bằng chùm ion proton-carbon công suất cao có thời gian nan giây
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques - Tập 5 - Trang 246-248 - 2011
Tóm tắt
Ảnh hưởng của chùm ion proton-carbon công suất cao lên hình thái bề mặt và điện trở của các màng carbon tổng hợp bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma đã được nghiên cứu. Các cơ chế có thể xảy ra dẫn đến sự thay đổi hình thái bề mặt và sự gia tăng điện trở của màng carbon do sự chiếu xạ đã được thảo luận.
Từ khóa
#chùm ion proton-carbon #màng carbon #hình thái bề mặt #điện trở #lắng đọng hơi hóa học #chiếu xạ #plasma.Tài liệu tham khảo
F. Beuneu, C. Huillier, J.-P. Salvetat, et al., Phys. Rev. B 59, 5945 (1999).
Zhenxia Wang, Yongqing Wu, Wei Zhang, et al., Carbon 43, 447 (2005).
G. Singha, P. Rice, K. E. Hurst, et al., Appl. Phys. Lett. 91, 101 (2007).
Ch. E. Hunt, A. G. Chakhovskoi, and Y. Wang, J. Vac. Technol. B 23, 731 (2005).
D. Q. Duy, H. S. Kim, D. M. Yoon, et al., Appl. Surf. Sci. 256, 1065 (2009).
G. E. Remnev, I. F. Isakov, M. S. Opekunov, et al., Izv. Vyssh. Uchebn. Zaved., Fiz., No. 4 (Suppl.), 92 (1998).
T. V. Kononenko, S. M. Pimenov, V. V. Kononenko, et al., Appl. Phys. A 79, 543 (2004).
X. G. Han, S. M. Miao, X. P. Zhu, and M. K. Lei, Appl. Surf. Sci. 253, 5425 (2007).
T. Oshiro, M. Yamazato, H. Akira, and M. Toguchi, Jpn. J. Appl. Phys. 46, 756 (2007).
A. F. Burenkov, F. F. Komarov, M. A. Kumakhov, and M. M. Temkin, Tables of Ion Implantation Spatial Distributions (Bel. Gos. Univ., Minsk, 1980; Cordon and Breach, New York, 1986).