Phương Pháp Chẩn Đoán Nanostructures Phẳng Bằng Chùm Ion Và X-ray

V. Egorov1, E. Egorov2,1,3
1Institute of Microelectronics Technology, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Russia
2Financial University under the Government of the Russian Federation, Moscow, Russia
3Institute of Radio Engineering and Electronics, Russian Academy of Sciences, Fryazino, Russia

Tóm tắt

Công trình này trình bày những mô tả ngắn gọn về các phương pháp chùm ion và chẩn đoán X-ray trong điều kiện hình học phản xạ toàn phần bên ngoài, với sự chú ý vào việc nghiên cứu các đặc điểm của các nanostructures phẳng. Đặc điểm của những đối tượng này được mô tả, và các nhiệm vụ được hình thành, điều này phù hợp hơn cho các ứng dụng của những phương pháp này. Các kết quả thực nghiệm, xác nhận hiệu quả cao của việc điều tra các đối tượng thực tế bằng những phương pháp này được thảo luận. Các hướng đi có thể của phân tích chùm ion và nền tảng phương pháp X-ray trên cơ sở ứng dụng các cộng hưởng sóng X-ray phẳng được chỉ ra. Lợi ích từ việc sử dụng các thiết bị này được thể hiện.

Từ khóa

#chùm ion #chẩn đoán X-ray #nanostructures phẳng #phản xạ toàn phần bên ngoài #phương pháp phân tích

Tài liệu tham khảo

Alford, T., Feldman, L.C., and Mayer, J.W., Fundamentals of Nanoscale Film Analysis, New York: Springer, 2007. https://doi.org/10.1007/978-0-387-29261-8 Johanson, S.A.E., Campbell, J.L., and Malquist, K.G., Particle Induced X-ray Emission Spectrometry (PIXE), New York: Wiley, 1995. Klockenkamper, R. and von Bohlen, A., Total-Reflection X-ray Fluorescence Analysis and Related Methods, New York: Wiley, 1995. https://doi.org/10.1002/9781118985953 Van Grieken, R. and Markowicz, A., Handbook of X‑Ray Spectrometry, New York: CRC Press, 2001, 2nd ed. https://doi.org/10.1201/9780203908709 Egorov, V.K. and Egorov, E.V., TXRF spectrometry in conditions of planar x-ray waveguide-resonator applic-ation, 21st Century Nanoscience–A Handbook, Sattl-er, K.D., Ed., Boca Raton, Fla.: CRC Press, 2020, vol. 16, pp. 16.1–16.32. https://doi.org/10.1201/9780429340420-16 Bertin, E.P., Principle and Practice of X-Ray Spectrometric Analysis, New York: Plenum Press, 1975. Egorov, V.K. and Egorov, E.V., Planar waveguide-resonator: A new device for X-ray optics, X-Ray Spectrom., 2004, vol. 33, no. 5, pp. 360–371. https://doi.org/10.1002/xrs.735 Egorov, V.K. and Egorov, E.V., The compact TXRF cell on base of the planar X-ray waveguide-resonator, Adv. X‑ray Chem. Anal. (Jpn.), 2012, vol. 43, pp. 139–146. https://doi.org/10.57415/xshinpo.43.0_139 Hofsäss, H., Forward Recoil Spectrometry, New York: Springer, 1996. https://doi.org/10.1007/978-1-4613-0353-4 Martin, P.M., Handbook of Deposition Technology for Films and Coatings, Boston: William Andrew Publ., 2010. Doulittle, L.R., Algorithms for the rapid simulation of Rutherford backscattering spectra, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B: Beam Interact. Mater. Atoms, 1985, vol. 9, no. 3, pp. 344–351. https://doi.org/10.1016/0168-583x(85)90762-1 Cahill, T.A., Proton microprobes and particle-induced X-ray analytical systems, Annu. Rev. Nucl. Part. Sci., 1980, vol. 30, no. 1, pp. 211–252. https://doi.org/10.1146/annurev.ns.30.120180.001235 Van Kan, J.A. and Vis, R.D., Glancing incident MeV ion beams for total reflection PIXE (TPIXE) and RBS surface analysis, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B: Beam Interact. Mater. Atoms, 1996, vol. 113, nos. 1–4, pp. 373–377. https://doi.org/10.1016/0168-583x(95)01355-5 Afanasiev, M.S., Egorov, V.K., Egorov, E.V., Kuharskaya, N.F., Nabiev, A.E., and Naryshkina, V.G., The total-reflection X-Ray fluorescence yield formed by a waveguide resonator under conditions of ion beam excitation, Instrum. Exp. Tech., 2019, vol. 62, no. 5, pp. 659–663. https://doi.org/10.1134/s0020441219050014