Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Phóng điện RF cảm ứng áp suất thấp trong trường từ
Tóm tắt
Bài báo này nghiên cứu quá trình phóng điện RF cảm ứng ở áp suất thấp được sử dụng để tạo ra plasma trong một buồng chân không lớn với cấu hình bẫy của trường từ. Nhiệm vụ chính của bài báo là xác định các vùng có khả năng ion hóa hiệu quả và sự trao đổi năng lượng giữa trường RF và plasma.
Từ khóa
#Trường từ #Mật độ plasma #Đo plasma #Cảm biến #Che chắn từ #Đo trường từ #Cuộn cảm #Nhiệt độ plasma #Đo mật độ #ElectronsTài liệu tham khảo
boswell, 1997, The Past Decade, IEEE Transaction on Plasma Science, 25, 1245, 10.1109/27.650899
10.1109/27.650898
10.1063/1.1134697
10.1088/0963-0252/7/4/011
popov, 1995, High density plasma sources, Matsushita Electric Works Woburn, 426