Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Cảm biến độ ẩm tương đối thấp nhạy cao dựa trên lớp phủ thấu kính bên với sợi quang đã được mài nhẵn
SENSORS, 2002 IEEE - Tập 1 - Trang 490-494 vol.1
Tóm tắt
Một cảm biến độ ẩm tương đối thấp dựa trên lớp phủ thấu kính được trình bày. Trường không đều từ một sợi quang đơn chế độ được ghép nối với một lớp phủ thấu kính TiO/sub 2/. Phản hồi truyền dẫn cho thấy những sự cộng hưởng sắc nét mà bước sóng trung tâm của chúng bị dịch chuyển theo tuyến tính với độ ẩm tương đối. Hành vi này là do cấu trúc nan dạng cột rỗng của màng TiO/sub 2/. Nước được hấp thụ vào các lỗ rỗng của cấu trúc nan, làm thay đổi chỉ số khúc xạ của lớp và gây ra sự dịch chuyển của các bước sóng cộng hưởng. Phản ứng của cảm biến được xác định bởi hình dạng và kích thước của các lỗ rỗng. Cảm biến trường không đều quang học được phát triển có phản ứng tuyến tính và độ nhạy cao (0,5 nm/% RH) cho độ ẩm tương đối thấp (RH-0%-15%) ở 26,1/spl deg/C /spl plusmn/ 0,6/spl deg/C. Việc không có hiện tượng trễ trong chu kỳ hấp thụ-giải phóng đã được kiểm tra. Cuối cùng, việc phát triển cảm biến với phản ứng được điều chỉnh được dự đoán bằng cách sử dụng các kỹ thuật kiểm soát độ rỗng của vật liệu.
Từ khóa
#Độ ẩm #Cảm biến sợi quang #Sợi quang #Cáp dẫn quang #Cộng hưởng #Liên kết quang học #Màng quang học #Chỉ số khúc xạ #Hình dạng #Hiện tượng trễTài liệu tham khảo
poscio, 1996, Realization of a miniaturized optical sensor for biomedical application, Sen sor Actuators, a21 a23, 399
pal, 1997, All-fiber wavelength selective components for optical communication, Com … mun Instrum, 5, 181
10.1146/annurev.ms.07.080177.001323
10.1116/1.572604
gregg, 1997, Adsorption, surface area and porosity
brinker, 1990, Sol-Gel Science: The Phisics and Chemistry of Sol-Gel Processing
mitschke, 1989, Fiber-optic sensor humidity, Opt Lett, 14, 10.1364/OL.14.000967
10.1016/S0040-6090(97)00146-6
10.1364/OL.22.000346
10.1364/AO.10.002395
10.1049/el:19920257
10.1364/OL.19.000801
johnstone, 1992, Fiber optic wavelength channel selector with high resolution, Electron Lett, 28, 1364, 10.1049/el:19920867
10.1364/OL.12.000284
10.1364/OL.21.000399
10.1364/OL.17.001538
10.1049/el:19910560
mccallion, 1998, Side-polished fiber provides functionality and transparency, Optoelect World, 9, 19
10.1364/OL.22.000567
10.1109/68.868002