Các phim PVD có mặt phẳng phân cách bằng kim loại

Trong bài báo này, chúng tôi mô tả những nỗ lực cải thiện đặc tính hiệu suất của các bộ phận hoạt động trong cặp trượt bằng cách tạo ra các cấu trúc bề mặt 3 chiều. Trái ngược với các phim đa lớp nổi tiếng, chúng tôi đã tạo ra cấu trúc bề mặt 3D thực sự bao gồm phim gốm cứng đa lớp có mặt phẳng và được ngăn cách bằng kim loại nguyên chất (bộ phân cách kim loại), chẳng hạn như đồng và bạc. Để lắng đọng các phim này, chúng tôi đã sử dụng các mặt nạ lỗ tròn với độ trong suốt khác nhau (từ 0.7 đến 0.5) và các hình dạng mặt khác nhau (tròn và ellip). Các phim được lắng đọng bằng thiết bị hồ quang chân không. Các thử nghiệm mài mòn đã cho thấy sự gia tăng đáng kể về khả năng chống mài mòn và giảm hệ số ma sát khi thép đánh bóng được sử dụng làm đệm. Ảnh hưởng của các tham số plasma và hình học bộ phân cách lên các tính chất phim đã được nghiên cứu. Mô hình phát triển cung cấp phương tiện để tối ưu hóa các tham số phim và tính toán các tham số plasma được sử dụng trong quá trình lắng đọng phim.