Fabrication of 1 Inch Mosaic Crystal Diamond Wafers

Applied Physics Express - Tập 3 Số 5 - Trang 051301
Hideaki Yamada1, Akiyoshi Chayahara1, Yoshiaki Mokuno1, Hitoshi Umezawa1, Shinichi Shikata1, Naoji Fujimori1
1Diamond Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

Ikeda, 2009, Appl. Phys. Express, 2, 011202, 10.1143/APEX.2.011202

Samoto, 2008, Diamond Relat. Mater., 17, 1039, 10.1016/j.diamond.2008.02.007

Bauera, 2005, Diamond Relat. Mater., 14, 314, 10.1016/j.diamond.2004.10.028

Sumiya, 1997, J. Cryst. Growth, 178, 485, 10.1016/S0022-0248(96)00797-X

Tamasaku, 2005, J. Phys. D, 38, A61, 10.1088/0022-3727/38/10A/012

Liang, 2009, Diamond Relat. Mater., 18, 698, 10.1016/j.diamond.2008.12.002

Mokuno, 2009, Diamond Relat. Mater., 18, 1258, 10.1016/j.diamond.2009.04.005

Geis, 1991, Appl. Phys. Lett., 58, 2485, 10.1063/1.104851

Geis, 1994, Diamond Relat. Mater., 4, 76, 10.1016/0925-9635(94)90072-8

Posthill, 1995, Thin Solid Films, 271, 39, 10.1016/0040-6090(95)06878-3

Janssen, 1995, Diamond Relat. Mater., 4, 1025, 10.1016/0925-9635(95)00278-2

Schermer, 1996, J. Cryst. Growth, 165, 387, 10.1016/0022-0248(96)00210-2

Findeling-Dufour, 1997, Thin Solid Films, 308--309, 178, 10.1016/S0040-6090(97)00428-8

Findeling-Dufour, 1998, Diamond Relat. Mater., 7, 986, 10.1016/S0925-9635(97)00340-3

Meguro, 2003, SEI Tech. Rev., 163, 53

Kobashi, 2003, Diamond Relat. Mater., 12, 233, 10.1016/S0925-9635(02)00298-4

Marchywka, 1993, Appl. Phys. Lett., 63, 3521, 10.1063/1.110089

Parikh, 1992, Appl. Phys. Lett., 61, 3124, 10.1063/1.107981

Mokuno, 2008, Diamond Relat. Mater., 17, 415, 10.1016/j.diamond.2007.12.058