Etched silicon vibrating sensor

IOP Publishing - Tập 17 Số 8 - Trang 650-652 - 1984
J. C. Greenwood1
1Standard Telecommunication Labs. Ltd., Harlow, UK

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

Bogh A, 1971, J. Electrochem. Soc., 118, 401, 10.1149/1.2408064

Greenwood J C, 1969, J. Electrochem. Soc., 116, 1326, 10.1149/1.2412316

Greenwood J C, 1981

Palik E D, 1982, J. Electrochem. Soc., 129, 2051, 10.1149/1.2124367

Thông tin
Thông tin xuất bản

IOP Publishing

Tập 17 Số 8

650-652

Thông tin tác giả