Cơ chế xói mòn của silicon đơn tinh thể dưới tác động của tia không khí chứa hạt vi tiểu

Journal of Applied Physics - Tập 104 Số 3 - 2008
Q. L. Li1, Jun Wang1, Chuanzhen Huang2
1The University of New South Wales 1 School of Mechanical and Manufacturing Engineering, , Sydney, New South Wales 2052, Australia
2Shandong University 2 Center for Advanced Jet Engineering Technologies (CaJET), School of Mechanical Engineering, , Jinan 250061, People’s Republic of China

Tóm tắt

Công nghệ gia công vi mài bằng tia không khí được xem là một công nghệ xử lý chính xác đầy triển vọng cho các bề mặt silicon. Trong bài viết này, chúng tôi trình bày và thảo luận về các dấu ấn được tạo ra trên silicon đơn tinh thể do sự va chạm của các hạt vi rắn được mang theo bởi tia không khí và các cơ chế xói mòn vi mô liên quan. Kết quả cho thấy các dấu ấn có thể được phân loại thành ba loại, cụ thể là, miệng hố, vết xước và vết lõm vi mô, trong đó hai loại miệng hố và hai loại vết xước có thể dẫn đến những vết nứt quy mô lớn. Các miệng hố có mặt nứt tách lớp đã được chứng minh đóng vai trò quan trọng trong quá trình loại bỏ vật liệu. Hơn nữa, hầu hết các hạt đều bật ra khỏi bề mặt mục tiêu mà không trượt hay lăn trong quá trình va chạm, do đó phần lớn các dấu ấn hình thành là xói mòn loại miệng hố.

Từ khóa

#gia công vi mài #silicon đơn tinh thể #tia không khí #cơ chế xói mòn #hạt vi tiểu

Tài liệu tham khảo

2000, Sens. Actuators, A, 85, 296, 10.1016/S0924-4247(00)00343-5

1996, Philips J. Res., 50, 475, 10.1016/S0165-5817(97)84687-6

1980, J. Am. Ceram. Soc., 63, 574, 10.1111/j.1151-2916.1980.tb10768.x

1982, J. Am. Ceram. Soc., 65, 561, 10.1111/j.1151-2916.1982.tb10782.x

1984, J. Am. Ceram. Soc., 67, 57, 10.1111/j.1151-2916.1984.tb19148.x

2003, J. Mater. Process. Technol., 132, 177, 10.1016/S0924-0136(02)00848-8

2002, Precis. Eng., 26, 193, 10.1016/S0141-6359(01)00114-3

2008

1992, Tribology: Friction and Wear of Engineering Materials

1991, Wear, 149, 85, 10.1016/0043-1648(91)90366-3

1993, Powder Technol., 76, 3, 10.1016/0032-5910(93)80035-9

1999, Mater. Sci. Eng., A, 268, 116, 10.1016/S0921-5093(99)00077-5

1921, Philos. Trans. R. Soc. London, 221, 163, 10.1098/rsta.1921.0006

2000, Acta Mater., 48, 4517, 10.1016/S1359-6454(00)00238-X

1993, Mater. Sci. Eng., A, 164, 118, 10.1016/0921-5093(93)90649-Y

1987, Surf. Sci., 186, L561, 10.1016/S0039-6028(87)80377-1

Thông tin
Thông tin xuất bản

Journal of Applied Physics

Tập 104 Số 3

Thông tin tác giả