Epitaxial growth of CoSi2 on Si(001) by reactive deposition epitaxy: Island growth and coalescence

Thin Solid Films - Tập 515 - Trang 1340-1348 - 2006
C.W. Lim1, I. Petrov1, J.E. Greene1
1Department of Materials Science, the Frederick Seitz Materials Research Laboratory, University of Illinois, 104 South Goodwin, Urbana, IL 61801, USA

Tài liệu tham khảo

Thông tin
Thông tin xuất bản

Thin Solid Films

Tập 515

1340-1348

Thông tin tác giả