Mô hình giữ điện tử cho điện tích cục bộ trong điện môi oxit-nitrua-oxit (ONO)

IEEE Electron Device Letters - Tập 23 Số 9 - Trang 556-558 - 2002
E. Lusky1, Y. Shacham-Diamand1, I. Bloom2, B. Eitan2
1Department of Physical Electronics and the Nano-Science and Nano-Technology Project, Tel-Aviv University, Israel
2Saifun Semiconductors Limited, Netanya, Israel

Tóm tắt

Một mô hình giữ điện tử cho điện tích cục bộ, bị bẫy trong lớp điện môi ONO xếp chồng, được giới thiệu sử dụng thiết bị bộ nhớ chỉ đọc nitrua (NROM). Sự giảm ngưỡng điện áp (mất giữ) quan sát được của một ô đã được lập trình được giải thích theo việc phân phối lại điện tích theo phương ngang trong lớp nitrua. Giả sử cơ chế phát xạ nhiệt, các mức năng lượng của các bẫy điện tử đã được trích xuất và phát hiện phân bố liên tục trong khoảng cách băng nitrua, với giá trị trung vị khoảng /spl sim/2.12 eV dưới dải dẫn. Sử dụng các phát hiện này, mô hình cho phép dự đoán mất giữ trên phạm vi nhiệt độ rộng, từ 140/spl deg/C-300/spl deg/C, trong thời gian dài, lên đến 10/sup 7/ giây, mức mất giữ lớn, khoảng /spl sim/90%, và các khoảng lập trình từ 1.9-3.3 V. Dựa trên công việc này, mất giữ tương đối sau mười năm ở 140/spl deg/C của một ô NROM dự kiến sẽ là 14% (V/sub DS/=0.1 V) và mất sản phẩm tương đương chưa chu kỳ được dự kiến là 8%.

Từ khóa

#Bẫy điện tử #Thiết bị điện môi #Đo lường tổn thất #Độ dẫn nhiệt #Trạng thái năng lượng #Phân bố nhiệt độ #Điện áp ngưỡng #Khoảng cách băng quang phổ #Mô hình dự đoán #Bộ nhớ bán dẫn

Tài liệu tham khảo

10.1109/16.249436 10.1109/EDL.1987.26563 10.1016/0038-1101(76)90166-0 kapoor, 1980, The Physics of MOS Insulators, 107 10.1016/S0038-1101(00)00012-5 10.1109/55.962662 10.1016/0169-4332(89)90433-9 10.1063/1.1661067 eitan, 1999, can nrom, a 2-bit trapping storage cell, give a real challenge to floating gate cells, Proc SSDM, 522 lichmanov, 1995, charge storage in monos memory elements with inhomogeneously distributed trap centers in silicon nitride, Optoelectron Instrum Data Process, 4, 34 10.1109/55.877205