Ảnh hưởng của nồng độ axit oxalic đến sự hình thành oxit nhôm anod trong quá trình anod hóa xung tại nhiệt độ phòng

Microsystem Technologies - Tập 16 - Trang 1451-1456 - 2009
Chen-Kuei Chung1,2, T. Y. Liu2, W. T. Chang1
1Department of Mechanical Engineering, Center for Micro/Nano Science and Technology, National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan, ROC
2Institute of Nanotechnology and Microsystems Engineering, National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan, ROC

Tóm tắt

Hầu hết các phim oxit nhôm anod hóa (AAO) hoặc alumin anod hóa xốp (PAA) đã được chế tạo bằng phương pháp điện thế tĩnh từ các phim nhôm có độ tinh khiết cao (99.999%) ở nhiệt độ thấp từ 0–10°C để tránh hiện tượng hòa tan ở nhiệt độ phòng (RT). Trong bài báo này, quá trình chế tạo phim AAO hoặc PAA từ nhôm có độ tinh khiết thương mại (99%) tại nhiệt độ phòng đã được khảo sát bằng phương pháp anod hóa xung kết hợp với các nồng độ axit oxalic khác nhau và thời gian quá trình khác nhau. Ảnh hưởng của nồng độ axit và thời gian anod hóa đến kích thước và hình thái của AAO đã được nghiên cứu. Đường kính lỗ chân lông và độ dày lớp oxit của các phim AAO đã được phân tích thông qua hình ảnh SEM và phát hiện rằng cả hai đều tăng lên khi nồng độ axit oxalic và thời gian anod hóa tăng. Ngoài ra, sự phân bố lỗ chân lông tập trung hơn ở nồng độ điện phân cao và thời gian anod hóa dài hơn.

Từ khóa

#oxit nhôm anod #anod hóa xung #nồng độ axit oxalic #độ dày lớp oxit #hình thái lỗ chân lông

Tài liệu tham khảo

Chung CK, Chang WT (2006) Effect of pulse frequency on the morphology and nanoindentation property of electroplated nickel films. Microsyst Technol 13:537–541 Chung CK, Chang WT (2009) Effect of pulse frequency and current density on anomalous composition and nanomechanical property of electrodeposited Ni–Co films. Thin Solid Films 517:4800–4804 Chung CK, Zhou RX, Liu TY, Chang WT (2009) Hybrid pulse anodization for the fabrication of porous anodic alumina films from commercial purity (99%) aluminum at room temperature. Nanotechnology. 20:055301 David HC (2001) Nanowires begin to shine. Nature 409:2–33 Fan DH, Wing GQ, Shen WZ, Zheng MJ (2007) Adsorption and diffusion of light alkanes on nanoporous faujasite catalysts investigated by molecular dynamics simulations. Microporous Mesoporous Mater 100:154–159 Favier F, Walter EC, Zach MP, Benter T, Penner RM (2001) Hydrogen sensors and switches from electrodeposited palldium mesowire arrays. Science 293:2227–2231 Lo D, Budiman RA (2007) Fabrication and characterization of porous anodic alumina films from impure aluminum foils. J Electrochem Soc 154:C60–C66 Manalis S, Babcock K, Massie J, Elings V, Dugas M (1995) Submicron studies of recording media using thin-film magnetic scanning probes. Appl Phys Lett 66:585–2587 Masuda H, Fukuda K (1995) Ordered metal nanohole arrays made by a two-step replication of honetcomb structure of anodic alumina. Science 268:1466–1468 Masuda H, Hasegwa F (1997) Self-ordering of cell arrangement of anodic porous alumina formed in sulfuric acid solution. J Electrochem Soc 144:127–130 Nielsch K, Müller F, Li AP, Gösele U (2000) Uniform nickel deposition into ordered alumina pores by pulsed electrodeposition. Adv Mater 12:582–586 Nielsch K, Choi J, Schwirn K, Wehrspohn RB, Golsele U (2002) Self-ordering regimes of porous alumina: the 10% porosity rule. Am Chem Soc 2:677–680 Ssito M, Kirihara M, Taniguchi T, Miyagi M (1989) Micropolarizer made of the anodized alumina film. Appl Phys Lett 55:607–609 Tian YT, Meng GW, Gao T, Sun SH, Xie T, Peng XS, Ye CH, Zhang LD (2004) Alumina nanowire arrays standing on a porous anodic alumina membrane. Nanotechnology 15:189–191 Yin AJ, Li J, Jian W, Bennett AJ, Xua JM (2001) Fabrication of highly ordered metallic nanowire arrays by electrodeposition. Appl Phys Lett 79:1039–1041