Deposition of Nanoscale Films with Fractal Topography

Pleiades Publishing Ltd - Tập 33 Số 5 - Trang 263-270 - 2004
I. N. Serov1, V. I. Margolin1, N. A. Potsar2, Inga A. Soltovskaya1, V. A. Tupik2, Valentin S. Fantikov2
1Aires Foundation for the Advancement of Medical Technology, St. Petersburg, Russia
2LETI State University of Electrical Engineering, St. Petersburg, Russia

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

Thông tin
Thông tin xuất bản

Pleiades Publishing Ltd

Tập 33 Số 5

263-270

Thông tin tác giả