Hành Vi Định Hình của Chất Keo Tạm Thời Chịu UV cho Quy Trình Đóng Gói Đa Chip 3D

Journal of Electronic Materials - Tập 43 - Trang 4246-4254 - 2014
Seung-Woo Lee1, Tae-Hyung Lee1, Ji-Won Park1, Cho-Hee Park1, Hyun-Joong Kim1, Jun-Yeob Song2, Jae-Hak Lee2
1Laboratory of Adhesion & Bio-Composites, Program in Environmental Materials Science, Research Institute for Agriculture & Life Sciences, Seoul National University, Seoul, Republic of Korea
2Korea Institute of Machinery & Materials, Daejeon, Republic of Korea

Tóm tắt

Các chất keo tạm thời được tổng hợp cho quy trình đóng gói đa chip ba chiều (3D). Để nâng cao tính ổn định nhiệt, các chất keo này đã sử dụng một binder urethane acrylic chứa flo và quá trình đóng rắn bằng ánh sáng cực tím (UV) để hình thành cấu trúc mạng chéo. Tập trung vào các thành phần chất khởi tạo quang khác nhau và liều lượng UV, hành vi đóng rắn bằng UV và tính ổn định nhiệt đã được nghiên cứu thông qua các kỹ thuật như phổ hồng ngoại biến đổi Fourier với phản xạ toàn phần suy giảm, phần trăm gel, tỷ lệ sưng, co lại và phân tích nhiệt trọng lượng.

Từ khóa

#chất keo tạm thời #đóng gói đa chip 3D #ổn định nhiệt #ánh sáng cực tím #phân tích nhiệt trọng lượng

Tài liệu tham khảo

F. Niklaus, G. Stemme, J.Q. Lu, and R.J. Gutmann, J. Appl. Phys. 99, 031101 (2006). J.E. Gragg, W.E. McCulley, W.B. Newton, and C.E. Derrington, Proceedings of IEEE Solid-State Sensor and Actuator Workshop (Hilton Head, SC, June 21, 1984). K. Petersen, P.W. Barth, J. Poydock, J. Brown, J. Mallon, and J. Bryzek, Proceedings of IEEE Solid-State Sensor and Actuator Workshop (Hilton Head, SC, June 144 1988). M.A. Schmidt, Proc. IEEE 86, 1575 (1998). Q.-Y. Tong and U. Gosele, Semiconductor Wafer Bonding: Science and Technology (New York: Wiley, 1999). S.S. Iyer and A.J. Auberton-Herve, Silicon Wafer Bonding Technology for VLSI and MEMS (London: INSPEC, 2002). M. Alexe and U. Gosele, Wafer Bonding and Applications and Technology (Berlin: Springer, 2004). Y.T. Chang, L. Lin, and K. Najafi, J. Microelectromech. Syst. 9, 3 (2000). M.M. Mahabiz, M.B. Cohn, R.T. Howe, R. Horowitz, and A.P. Pisano, Proceedings of MEMS (Orlando, FL, January, 1999), p. 482. P.R. Morrow, M.J. Kobrinsky, S. Ramanathan, C.M. Park, M. Harmes, V. Ramachandrarao, H.M. Park, G. Kloster, S. List, and S. Kim, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 20, 125 (2004). J.B. Kim, M Chiao, and L. Lin, Proceedings of MEMS (Las Vegas, NY, USA, January, 2002), p. 415. S.A. Audet, and K.M. Edenfeld, Proceedings of Transducers (Chicago, USA, 1997), p. 287. B.G. Yacobi, S. Martin, K. Davis, A. Hudson, and M. Hubert, J. Appl. Phys. 91, 6227 (2002). B. Bilenberg, T. Niesen, B. Clausen, and A. Kristensen, J. Micromech. Microeng. 14, 814 (2004). R. Puligadda, S. Pillalamarri, W. Hong, C. Brubaker, M. Wimplinger, and S. Pargfrieder, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 970 (2007). J. Moore, A. Smith, D. Nguyen, and S. Kulkarni, MANTECH 810 (2004). C. Brubaker, M. Wimplinger, A. Malzer, and P. Lindner, MANTECH 261 (2005). S. Combe, J. Cullen, and M. O’Keefe, MANTECH 193 (2006). S.-W. Lee, J.-W. Park, H.-J. Kim, K.-M. Kim, H.-I. Kim, and J.-M. Ryu, J. Adhes. Sci. Technol. 26, 317 (2012). H.-S. Joo, Y.J. Park, H.S. Do, H.-J. Kim, S.-Y. Song, and K.-Y. Choi, J. Adhes. Sci. Technol. 21, 575 (2007). F. Sosson, A. Chateauminois, and C. Creton, J. Appl. Polym. Sci. Part B 43, 3316 (2005). V.D. Athawale, S.L. Kolekar, and S.S. Raut, J. Macromol. Sci. Part C 43, 1 (2003). Y.J. Park, D.-H. Lim, H.-J. Kim, D.-S. Park, and I.-K. Sung, Int. J. Adhes. Adhes. 29, 710 (2009). Y.-B. Kim, S.-C. Park, H.-K. Kim, and J.-W. Hong, Macromol. Res. 16, 128 (2008). A. Udagawa, Y. Yamamoto, Y. Inoue, and R. Chujo, Polymer 32, 2779 (1991). A. Udagawa, Y. Yamamoto, Y. Inoue, and R. Chujo, Polymer 32, 2947 (1991). Y.-S. Chiu, Y.-L. Liu, W.-L. Wei, and W.-Y. Chen, J. Polym. Sci. Part A 41, 432 (2003). S.-D. Cho, J.-Y. Lee, J.-G. Hyun, and K.-W. Paik, Mater. Sci. Eng. B 110, 233 (2004). T. Yin, M.Z. Rong, M.Q. Zhang, and G.C. Yang, Compos. Sci. Technol. 67, 201 (2007). D.H. Kang, and B.C. Lee, Polymer(Korea) 31, 86 (2007). M.G. Voronkvov, V.P. Mileshkevich, and Y.A. Yuzhelevskii, The Siloxane Bond. (New York: Consultants Bureau), p. 102. D.K. Chattopadhyay and K.V.S.N. Raju, Prog. Polym. Sci. 32, 352 (2007). S.M. Mokhtar, S.M. Abd-Elaziz, and F.A. Gomaa, J. Fluorine Chem. 131, 616 (2010). J.M. Barrales-Rienda, J.G. Ramos, and M.S. Chaves, J. Polym. Sci. Polym. Chem. 17, 81 (1979). A. Matsumoto and K. Takeshi, J. Appl. Polym. Sci. 68, 1703 (1998). H.R. Allcock and F.W. Lampe, Contemporary Polymer Chemistry, 2nd ed. (Englewood Cliffs, NJ: Prentice Hall, 1990). E. Sacher, Prog. Surf. Sci. 47, 273 (1994). A. Ghosh, S. Banerjee, H. Komber, K. Schneider, L. Hüßler, and B. Voit, Eur. Polym. J. 45, 1561 (2009). F.R. Pu, R.L. Williams, T.K. Markkula, and J.A. Hunt, Biomaterials 23, 2411 (2002). D.K. Chattopadhyay, S.S. Panda, and K.V.S.N. Raju, Prog. Org. Coat. 54, 10 (2005). S. Tasic, B. Bozic, and B. Dunjic, Prog. Org. Coat. 51, 320 (2004). T. Seguchi, N. Hayakawa, K. Yoshida, and N. Taumura, Radiat. Phys. Chem. 26, 221 (1985). H.-S. Joo, H.S. Do, Y.J. Park, and H.-J. Kim, J. Adhes. Sci. Technol. 20, 1573 (2006). C.T. Ratnam, M. Nasir, A. Baharin, and K. Zaman, J. Appl. Polym. Sci. 81, 1914 (2001). S.-W. Lee, J.-W. Park, C.-H. Park, D.-H. Lim, H.-J. Kim, J.Y. Song, and J.H. Lee, Int. J. Adhes. Adhes. 44, 138 (2013). A. Elzubair, J.C.M. Suarez, C.M.C. Bonelli, and E.B. Mano, Polym. Test. 22, 647 (2003). I. Banik and A.K. Bhowmick, Radiat. Phys. Chem. 54, 135 (1999). M. Atai, D.C. Watts, and Z. Atai, Biomaterials 26, 5015 (2005). D.K. Chattopadhyay and D.C. Webster, Prog. Polym. Sci. 34, 1068 (2009). N. Kayaman-Apohan, R. Demirci, M. Cakir, and A. Gungor, Radiat. Phys. Chem. 73, 254 (2005).