Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Các không đồng nhất về thành phần và sự thư giãn biến dạng tại các giao diện InxGa(1−x)As/GaAs có hướng không đồng nhất
Tóm tắt
Các không đồng nhất về thành phần và các đứt gãy không khớp được quan sát thấy gần các giao diện In0.2Ga0.8As/GaAs có hướng không đồng nhất. Các không đồng nhất về thành phần này phát sinh từ sự khuếch tán In tại giao diện trên một khoảng cách 3 nm và sự hình thành các kết tủa tấm InAs. Các đứt gãy không khớp chủ yếu là loại cạnh thuần túy và loại 60°. Cấu trúc của các đứt gãy không khớp loại cạnh thuần túy thường bao gồm hai đứt gãy 60° cách nhau khoảng 2.5 nm. Một trong số các đứt gãy 60° này thường được phân tách thành các phần và được trang trí bởi các tấm InAs. Hình thái giao diện và bề mặt bị ảnh hưởng mạnh mẽ bởi sự nghiêng của chất nền so với hướng tinh thể [001] chính xác.
Từ khóa
#không đồng nhất hóa học #đứt gãy không khớp #InGaAs #GaAs #khuếch tán In #biến dạng #hình thái học giao diệnTài liệu tham khảo
J.W. Matthews, A.E. Blakeslee and S. Mader,Thin Solid Films 33, 253, (1976).
MacTempas programs were developed for Macintosh computer by Roar Killas in the Lawrence Berkeley Laboratory in Berkeley.
K. Muraki, S. Fukatsu, Y. Shiraki, R. Ito,Appl. Phys. Lett. 61, 557, (1992).
J.S. Ahearn, J.R.C. Laird and A.B. Ball,Thin Solid Films 42, 117, (1977).
P. Werner, N.D. Zakharov, Y. Chen, Z. Liliental-Weber, J. Washburn, J. Klem and J.Y. Tsao,Appl. Phys. Lett. 62, 2798 (1993).
P. Werner, Z. Liliental-Weber, H. Sohn, W. Yau, J. Baranowski and E.R. Weber,MRS Proc. 309 (1993), accepted.
Y. Chen, N.D. Zakharov, P. Werner, Z. Liliental-Weber, J. Washburn, J.F. Klem and J.Y. Tsao,Appl. Phys. Lett. 62, 1536 (1993).
Z. Liliental-Weber, Y. Chen, P. Werner, N.D. Zakharov, W. Swider, J. Washburn, J.F. Klem and J.Y. Tsao,J. Vac. Sci. Technol. (1993) accepted.