Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Kiểm soát mờ theo chu trình kín của gương vi mô xoắn với nhiều điện cực tĩnh điện
IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMs - Trang 85-86
Tóm tắt
Thiết bị gương vi mô có thể đạt được hành vi tương tự đóng vai trò rất quan trọng trong MEMS quang học. Tuy nhiên, thiết bị gương vi mô tĩnh điện truyền thống được điều khiển bởi một điện cực đơn không thể đạt được hành vi tương tự do đặc tính chuyển đổi phi tuyến của nó. Về vấn đề này, khái niệm thiết bị gương được điều khiển bằng nhiều điện cực đã được đề xuất trước đây để khắc phục những nhược điểm đã đề cập. Kết quả thí nghiệm đã thúc đẩy chúng tôi nỗ lực cải thiện hiệu suất, chẳng hạn như tần số hoạt động của thiết bị gương vi mô đã đề xuất. Để tăng cường tần số hoạt động, trước tiên cần cải thiện hành vi quá độ của gương. Trong bài viết này, chúng tôi cho thấy công nghệ kiểm soát mờ là một ứng viên tốt để cải thiện hành vi quá độ của thiết bị đã đề xuất.
Từ khóa
#Kiểm soát mờ #Gương vi mô #Tĩnh điện #Điện cực #Gương #Tần số #Thiết bị quang phi tuyến #Quang học phi tuyến #Thiết bị quang #Hệ vi cơ họcTài liệu tham khảo
saari, 0, A Scanning Micro-mechanical Mirror, AutomationML Website
tuantranont, 2000, MEMS-Controllable Microlens Array for Beam Steering and Precision Alignment in Optical Interconnect Systems, Proc 2000 Solid-State Sensor and Actuator Workshop, 101
shaw, 1998, Fuzzy control of industrial systems - Theory and applications
10.1109/OMEMS.2000.879649
koester, 0, MUMPs Design Handbook Revision 7 0 Cronos Website
chiou, 2001, A Novel Control Design of Stepping Micromirror Using Multiple Electrostatic Driving Electrodes, IEEE/LEOS Optical MEMS 2001 Okinawa, 25