Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Đặc trưng của cảm biến khoảng cách quang học vi mô
IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMs - Trang 29-30
Tóm tắt
Một cảm biến khoảng cách quang học vi mô với bộ thu PSD được xây dựng trong một cấu hình mô-đun sử dụng hai chip phẳng đã được đặc trưng. Kết quả từ kích thước điểm, khoảng đo, độ tuyến tính, độ phân giải và khả năng lặp lại được mô tả.
Từ khóa
#Optical sensors #Sensor phenomena and characterization #Optical receivers #Optical scattering #Semiconductor device measurement #Microstructure #Sensor systems #Linearity #Mirrors #LensesTài liệu tham khảo
holfenbach, 2002, A Modular Fabrication Concept for EOSS is Demonstrated by a Micro Optical Distance Sensor, Proc Conf OPTO, 35
mohr, 2001, A Modular Fabrication Concept for Micro Optical Systems, 2001 IEEE/LEOS Int Conf Optical MEMS, 77
10.1007/978-3-642-59497-7_127