Những thách thức đối với ngành công nghiệp thiết bị bán dẫn trong xử lý plasma áp suất thấp

Chỉ tóm tắt nội dung, như sau. Bài nói chuyện này sẽ tập trung vào cách các công ty thiết bị công nghiệp bán dẫn làm việc với cộng đồng nghiên cứu xử lý plasma có thể đáp ứng những thách thức của các ứng dụng plasma trong thế hệ thiết bị bán dẫn tiếp theo. Một cái nhìn tổng quan về hiện tại và tương lai của ngành công nghiệp liên quan đến xử lý plasma sẽ được trình bày. Ngoài ra, chúng tôi cũng sẽ thảo luận về những thay đổi trong trách nhiệm của các nhà sản xuất IC, nhà cung cấp thiết bị và cộng đồng nghiên cứu plasma.