Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Tính chất khối của tiếng ồn 1/f đối với phim mỏng Ni/Cr điện trở áp suất trong cảm biến trên nền linh hoạt
Tóm tắt
Trong bài báo hiện tại, chúng tôi báo cáo kết quả đo tiếng ồn 1/f của các phim mỏng nichrome Ni/Cr (80/20 %) cho hai loại cảm biến áp suất: cảm biến áp suất tương đối và cảm biến áp suất tuyệt đối. Hệ số Hooge chuẩn hóa cho phim mỏng nichrome được tìm thấy là 1.89 × 10−10 cho các cảm biến áp suất tương đối và 4.64 × 10−11 cho các cảm biến áp suất tuyệt đối. Chúng tôi chứng minh rằng hệ số Hooge chuẩn hóa nhân với thể tích của phim mỏng trở thành hằng số không phụ thuộc vào loại cảm biến và thảo luận về những phức tạp phát sinh trong việc thu nhỏ cảm biến MEMS do các thuộc tính tiếng ồn khối của phim mỏng điện trở áp suất.
Từ khóa
#tiếng ồn 1/f #phim mỏng Nichrome #cảm biến áp suất #điện trở áp suất #cảm biến MEMSTài liệu tham khảo
Ahmed M, Butler DP, Butler ZC (2011) MEMS relative pressure sensor on flexible substrate. Proceedings of 10th international IEEE sensors conference (Limerick, Ireland), pp 460–463
Ahmed M, Butler DP, Butler ZC (2012) MEMS absolute pressure sensor on flexible substrate. Proceedings of 25th international IEEE MEMS conference (Paris, France), pp 575–578
Barlian AA, Park WT, Mallon JR Jr, Rastegar AJ, Pruitt BL (2009) Review: semiconductor piezoresistance for microsystems. Proceedings of IEEE Inst Electr Electron Eng, pp 513–552
Bora A, Raychaudhuri AK (2006) Evaluation of 1/fα noise during electromigration stressing of metal film: spectral signature of electromigration process. J Appl Phys 99:113701-1–113701-7
Butler ZC (1987) 1/f Noise in semiconductor devices. Dissertation, University of Rochester
Dagge K, Frank W, Seeger A, Stoll H (1996) 1/f noise as an early indicator of electromigration in thin metal films. Appl Phys Lett 68(9):1198–1200
Dutta P, Horn PM (1981) Low noise fluctuations in solids: 1/f noise. Rev Modern Phys 53(3):497–516
Hooge FN (1994) 1/f noise sources. IEEE Trans Elec Dev 41(11):1926–1935
Hooge FN, Kleinpenning TGM, Vandamme LKJ (1981) Experimental studies on 1/f noise. Rep Prog Phys 44:479–532
Liu H, Lhuillier E, Sionnest PG (2014) 1/f noise in semiconductor and metal nanocrystal solids. J Appl Lett 115:154309-1–154309-7
Luo J, Love WF, Miller SC (1986) Temperature dependence of 1/f noise in silicon. J Appl Phys 60:3196–3198
Rolke J (1981) Nichrome thin film technology and its application. Electro Sci Technol 9:51–57
Zhigalskii GP (1997) 1/f noise and no linear effects in thin metal films. Phys Uspekhi 40(6):599–622