Các Ứng Dụng và Xử Lý Các Oxit Dẫn Điện Trong Suốt

MRS Bulletin - 2000
B. Lewis, David C. Paine

Tóm tắt

Báo cáo đầu tiên về một oxit dẫn điện trong suốt (TCO) đã được công bố vào năm 1907, khi Badeker báo cáo rằng các lớp phim mỏng của kim loại Cd được lắng đọng trong buồng phát quang có thể bị oxi hóa để trở nên trong suốt trong khi vẫn giữ được khả năng dẫn điện. Kể từ đó, giá trị thương mại của các lớp phim mỏng này đã được công nhận và danh sách các vật liệu TCO tiềm năng đã mở rộng bao gồm, ví dụ, ZnO dop Al, GdInOx, SnO2, In2O3 dop F, và nhiều vật liệu khác. Kể từ những năm 1960, TCO được sử dụng phổ biến nhất cho các ứng dụng thiết bị quang điện là oxit indium dop thiếc (ITO). Hiện nay, và có thể còn lâu dài trong tương lai, vật liệu này cung cấp hiệu suất tốt nhất có thể về mặt dẫn điện và độ truyền, kết hợp với độ ổn định môi trường tuyệt vời, khả năng tái tạo cao và hình thái bề mặt tốt. Việc sử dụng các TCO khác với số lượng lớn thì tùy thuộc vào ứng dụng cụ thể. Ví dụ, oxit thiếc hiện đang được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng kính kiến trúc.

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

Lewis, 1994, Proc. 37th Annu. Tech. Conf., 432

10.1016/0040-6090(92)90594-2

1997, Flat Panel Display Hotline, 6, 7

Cornia, 1998, Proc. 41st Annu. Tech. Conf., 452

10.1063/1.370695

10.1143/JJAP.37.1870

10.1063/1.337534

10.1002/andp.19073270409

10.1063/1.126052

10.1007/s003390050727

Grivas, 1998, Laser Phys., 8, 326

10.1063/1.117497

10.1007/s003390051009

10.1063/1.362612

Saito, 1995, SID Digest of Tech. Papers, 26, 28

Barber, 1997, SID Digest of Tech. Papers, 28, 18

10.1143/JJAP.35.2788

Schlott, 1996, SID Digest of Tech. Papers, 27, 522

Thông tin
Thông tin xuất bản

MRS Bulletin

Thông tin tác giả