An inner gate as enabler for vertical pitch scaling in macaroni channel gate-all-around 3-D NAND flash memory

Solid-State Electronics - Tập 199 - Trang 108498 - 2023
D. Verreck1, A. Arreghini1, G. Van den bosch1, M. Rosmeulen1
1imec, 3001 Leuven, Belgium

Tài liệu tham khảo