Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Hệ thống nâng cấp thu nhỏ với điều khiển chuyển động sử dụng bộ truyền động piezoelectric
Tóm tắt
Một hệ thống vi nâng sử dụng nam châm vĩnh cửu gắn với bộ truyền động tuyến tính được đề xuất nhằm mục đích vi thao tác. Chiều dài khe không khí giữa một viên bi sắt nhỏ và nam châm vĩnh cửu được điều chỉnh để cân bằng lực từ và lực trọng trường. Một bộ truyền động piezoelectric được sử dụng để điều khiển chiều dài khe không khí vì cấu trúc đơn giản và tiềm năng thấp cho các vấn đề nhiệt. Một viên bi sắt nhỏ có đường kính 2.0 mm đã được nâng thành công khoảng 40 /spl mu/m từ vị trí bắt đầu. Hằng số thời gian nằm trong khoảng 20 ms. Thành công này sẽ góp phần vào những nỗ lực trong tương lai sử dụng lực tĩnh điện hoặc lực giữa các phân tử cho việc treo không tiếp xúc.
Từ khóa
#Motion control #Piezoelectric actuators #Magnetic levitation #Permanent magnets #Iron #Magnetic forces #Gravity #Force control #Coils #Control systemsTài liệu tham khảo
siegwart, 1994, eddy current bearings for micro-structure levitation, Proc 4th Int Symp Magn Beatings, 349
10.1016/S0924-4247(99)00388-X
muller, 1996, active micro motor bearings, Proc 5th Int Symp Magn Bearings, 401
oka, 1998, hanging type mag-lev system with permanent magnet motion control, Proc 6th Int Symp Magn Bearings, 162
yano, 1984, Proc Annu Spring Meeting IECE, 1
buleuler, 1994, micromachined active magnetic bearings, Proc 4th Int Symp Magn Beatings, 349
10.1109/TASC.2010.2041766
komori, 1996, development of a millimeter-sized active magnetic bearing systems, Proc 5th Int Symp Magn Bearings, 405
fukatu, 1999, electro-statically levitated micro motor for inertia measurement system, Dig Tech Papers Transducers, 158
10.1016/0250-6874(89)87100-8
10.1002/eej.4391160513