A gradational lead screw dry vacuum pump

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films - Tập 18 Số 3 - Trang 1045-1047 - 2000
Isao Akutsu1, Takanori Matsuoka1, Masayoshi Ozaki1, T. Kyuko1, S. Miyashita1, T. Ozawa1, Masaaki Naka1, Hiroaki Ohnishi1, Y. Narahara1, G. Horikoshi2
1DIAVAC Ltd Ohwada-shinden 459 Yachiyo-shi, Chiba-ken, 276-0046 Japan
2Professor Emeritus at the National Laboratory for High Energy Physics (KEK), Japan

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

1999, J. Vac. Sci. Technol. A, 17, 3144, 10.1116/1.582019

1999, J. Vac. Sci. Technol. A, 17, 3505, 10.1116/1.582091

1999, Shinku, 42, 663, 10.3131/jvsj.42.663

Thông tin
Thông tin xuất bản

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Tập 18 Số 3

1045-1047

Thông tin tác giả